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椭偏仪的发展趋势 1.寻找较高强度的红外光源, 拓宽椭偏仪的光谱范围, 以准确确定异质结构的多层膜结构; 2.建立包含成像椭偏仪的校准因素的系统模型, 以减小成像椭偏仪的测量误差; 3. 对半导体工业常用薄膜材料建立准确的物理模型, 以减小系统的计算误差; 4. 引入能够同步进行数据获取和数据处理的控制系统, 并利用优化算法, 较快得出薄膜系统待求参量, 以提高椭偏仪的测量速度, 增强椭偏仪的在线检测和控制功能。 参考文献 [1] Z. G. Hu and P. Hess, Optical constants and thermo-optic coefficients of nanocrystalline diamond films at 30–500°C, Appl. Phys. Lett. 89, 081906 (2006) [2] Z. G. Hu, Infrared optical properties of Bi3.25La0.75Ti3O12 ferroelectric thin films using spectroscopic ellipsometry, J. Phys. D: Appl. Phys. 35 (2002) 3221–3224 [3] Z. G. Hu, Structure and Optical Properties of Ferroelectric PbZr0.40Ti0.60O3 Films Grown on LaNiO3-Coated Platinized Silicon Determined by Infrared Spectroscopic Ellipsometry, J. Phys. Chem. C 2008, 112, 9737–9743 [4]余平,张晋敏 椭偏仪的原理和应用 Journal of HefeiUniversity(Natural Sciences) Feb. 2007 Vol. 17 No. 1　 [5] 莫党. 固体光学[M]. 北京:高等教育出版社, 1996:135-141 [6] 黄宗卿. 固体表面分析的光学方法——椭圆法[J].科学(中文版)-1993年7期 [7] 方容川. 固体光谱学[M]. 安徽:中国科学技术大学出版社, 2003:29-39 [8] 魏 权. TiO2薄膜的椭圆偏振光谱研究[J]. 稀有金属材料与工程, 第36卷 2007年9月 [9] 陈良尧. 现代椭圆偏振光谱学研究和进展[J]. 物理-1995年2期 QUESTION?THANK YOU! 固体材料的光谱学评价 固体光谱简介 透射和反射光谱 椭圆偏振光谱 主要内容 光谱发展历史 人们对光谱的研究已有三百多年的历史了。1666年，牛顿把通过玻璃棱镜的太阳光分解成了从红光到紫光的各种颜色的光谱，他发现白光是由各种颜色的光组成的。这是可算是最早对光谱的研究。 固体光谱学(Solid State Spectroscopy)是关于光和凝聚态物质相互作用的一门学科。 光谱是电磁辐射按照波长(能量)的有序排列，根据实验条件的不同，各个辐射波长(能量)都具有各自的特征强度。 通过光谱的研究，人们可以得到原子、分 子等的能级结构、弛豫时间、电子的组态、分子的几何形状等多方面物质结构的知识。 固体光谱学 透射光谱和反射光谱 固体光谱学包括固体的吸收、反射、发光和透射光谱。 不同材料对光都有不同程度的反射和透过，即使对同一种材料，对不同的波段的光，反射和透射特性也可能不相同。透射率T与入射光频率ω之间的关系叫做透射光谱。 反射透射示意图 反射系数： 反射率： 将电矢量分解为垂直入射 面分量En和平行于入射面 的分量Ep 透射光谱 反射光谱 椭圆偏振光谱 基于材料对光的反射，发展起一些测量光学常数的方法，例如椭圆偏振光谱等。 椭圆偏振光谱学(Spectroscopic Ellipsometry)是一种以椭圆偏振光测量为基础的光谱技术，简称椭偏光谱学，缩写为SE。 SE 是通过光在样品表面反射后相位和振幅的变化来表征薄膜的性能的，反射前后P，S波相位的变化用Δ表征，ψ则反映了波振幅的改变。 偏振光的种类 光是电磁波，光的偏振现象表明光是一种横波，即电磁振动方向与光的传播方向垂直。光作为电磁波，光波中含有电振动矢量E和磁振动矢量H，就光与物质的相互作用而言，起主要作用的是电矢量，通常称电矢量 E为光矢量。并将光矢量和光的传播方向所构成的平面称为光的振动面。根据光矢量的振动状态，可以把光分为五种偏振态: 五种偏振态 椭偏仪的发展 1853年，英国物理学家Stokes发明了描述光偏振态的简便表达式,谁知在以后的近10