光电检测辉 第七章 真空成像器件.pptVIP

光电成像器件是能输出图像信息的一类器件,它包括真空成像器件和固体成像器件两大类。如图所示。 第 七 章 真 空 成 像 器 件 像管 摄像管 真空成像器件应用范围 第 七 章 真 空 成 像 器 件 ——图像测量 ——零件微小尺寸及质量的检验 ——光学干涉图像判读 ——机器视觉：自动瞄准 定位 跟踪 识别 控制 本章内容 第 七 章 真 空 成 像 器 件 7.1 像管 7.1 像管 7.2 常见像管 7.3 摄像管 7.4 光导靶和存储靶 7.5 摄像管的特性参数 7.6 摄像管的发展方向 像管 第 七 章 真 空 成 像 器 件 真空成像器件中没有扫描机构的称为像管。 像管的主要功能是把不可见辐射(红外或紫外)图像或微弱光图像通过光电阴极和电子光学系统转换成可见光图像。 把不可见辐射图像转换成可见光图像的象管称为变象管。 使微弱光图像增强的象管称为像增强器。 返回 摄像管 第 七 章 真 空 成 像 器 件 真空成像器件中有扫描机构的称为摄像管。 摄像管是把可见光或不可见辐射(红外、紫外或X射线等)的二维图像通过光电靶和电子束扫描后转换成相应的一维视频信号, 通过显示器件再成像的光电成像器件。 摄像管根据光电靶转换的方式又分为摄像管和视像管两类。 返回 像管 第 七 章 真 空 成 像 器 件 像管包括变像管和像增强器。 变像管是一种能把各种不可见辐射(红外,紫外和X射线)图像转换成可见光图像的真空光电成像器件。 像增强器是能把微弱的辐射图像增强到人眼可直接观察的真空光电成像器件,因此也称为微光管。 变像管和像增强器都具有光谱变换、图像增强和成像的功能。 7.1 像管 第 七 章 真 空 成 像 器 件 第三是将增强的电子图像转换成可见的光学图像。 7.1 像管 像管实现图像的电磁波谱转换和亮度增强是通过三个环节来完成的: 其次是使电子图像获得能量或数量增强，并聚焦成像； 首先是将接受的微弱的或不可见的输入辐射图像转换成电子图像； 7.1节内容 第 七 章 真 空 成 像 器 件 7.1 像管 7.1.1 像管结构和工作原理 返回 7.1.2 像管的特性参量 像管结构和工作原理 第 七 章 真 空 成 像 器 件 　 像管由3个基本部分组成,如图所示。 一、光电变换部分,即光电阴极;（实现光电转换） 二、电子光学系统,即电子透镜；(实现电子加速) 三、电光变换部分，即荧光屏；（实现图像显示） 7.1 像管 返回 光电阴极 第 七 章 真 空 成 像 器 件 　　光电阴极使不可见的亮度很低的辐射图像转换成电子图像。 像管中常用的光电阴极有4种: ——银氧铯光电阴极； ——单碱和多碱光电阴极； ——各种紫外光电阴极； ——负电子亲合势(NEA)光电阴极。 7.1 像管 返回 电子光学系统 第 七 章 真 空 成 像 器 件 　　电子光学系统对电子施加很强的电场和磁场,使电子获得能量,因而能将光电阴极发出的电子束加速并聚焦成像在荧光屏上,从而实现图像亮度的增强,使荧光屏发射出强得多的光能。 电子光学系统有两种形式： ——静电系统:靠静电场的加速和聚焦作用来完成; ——电磁复合系统:靠静电场的加速和磁场的聚焦作用来共同完成。 7.1 像管 返回 静电系统 第 七 章 真 空 成 像 器 件 又可分为非聚焦型和聚焦型两种。 非聚焦型电子光学系统结构的像管,一般由光电阴极和阳极(与荧光屏在一起)构成。两者平行且距离很近,所以这种像管又称近贴式像管。 工作时两极之间加上高压,形成纵向均匀电场,只能对光电子起到加速作用,不能聚焦成像,所以从光电阴极上同一点发出的不同初速的光电子,不能在荧光屏上会聚成一个像点,而是一个弥散圆斑。因此,近贴式像管的分辨率较低。 7.1 像管 第 七 章 真 空 成 像 器 件 聚焦型电子光学系统有双圆筒电极系统和双球面电极系统两种形式,如图所示。 从图中可知,从光电阴极发出的电子只能从阳极中间的小孔通过;