金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入轴向特性研究！.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ) 3 $$’ 3 ， ， ， NJ= /) 2J / 3 GOE@ $$’ （ ） !$$$83:$K$$’K) $3 K !()!8$) 4L04 ,5M-.L4 -.2.L4 !$$’ L@1A / ,@DI / -JE / 金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的 轴向特性研究! ）） ） ） ） ） ! # 张谷令 王久丽 陈光良 冯文然 顾伟超 ） ） ） ） 牛二武 范松华 刘赤子 杨思泽 !）（中央民族大学物理与电子工程学院，北京 !$$$%!） ）（北京凝聚态物理国家重点实验室，中国科学院物理研究所，北京 !$$$%$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$ ’ !( $$) % !% 栅极增强等离子体源离子注入（ ）一种新的金属管件内壁处理方法，该方法能够均匀地对金属管件内壁 *+,-.. 进行离子注入，并且能够生成二元金属化合物 在金属管件内轴向放置三块 号钢样品，利用 方法在金属 / ( *+,-.. 管件内壁成功生长金黄色氮化钛（ ）薄膜 结构分析显示 主要沿（ ）和（ ）晶面生长，深度分析显示膜的 012 / 012 !!! $$ 厚度大约二十几纳米，膜质地均匀且在基底有一定的嵌入深度 电化学腐蚀、硬度、磨擦学分析表明 薄膜很好 / 012 地改善了( 号钢的表面性能，并且表现出很高的轴向均匀性/ 关键词：等离子体源离子注入，内表面，氮化钛 ： ， ， !## ’ %) )’’$ 的薄膜还是存在与基底结合不牢的问题/ 国际上还 !F 引 言 有几个实验室正在做这方面的研究，但均不能彻底 ［— ］ 解决内部处理的均匀性以及牢固结合等问题)