石墨烯的量子电容-物理化学学报.PDF

前沿进展 石墨烯的量子电容* 邱晨光 徐慧龙 张志勇昄 彭练矛 暋暋 暋暋 暋暋 ( ) 北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室 北京大学电子学系 北京 暋 暋 暋100871 , , 摘 要 量子电容在半导体纳米材料和器件中是一个 日趋重要的参数 测量和提取石墨烯的量子电容 不仅可以 暋 暋暋 , 得到石墨烯的重要物理性质 而且对石墨烯晶体管的尺寸缩减行为具有重要指导意义 文章中采用简单工艺在石墨 . , ( ) , , 烯上制备出均匀超薄的高质量 YO 栅介质 其等效栅氧厚度 EOT 可缩减至 1.5nm 通过控制栅介质厚度的变化 2 3 , ; , 精确测量并提取了石墨烯量子电容 其电容值在远离狄拉克点时与理论计算相符合 在此基础上 文章作者提出了基 , ——— , 于电势涨落的量子电容微观模型 通过采用单一参数 电势涨落 毮V 可以定量地描述 Dirac点附近的量子电容行 , , , 为 从而在全能量范围内实现对石墨烯量子电容测量值的完美拟合 并得到了石墨烯的相关重要参数 进而 作者从 . , , 量子电容的角度 探索了石墨烯晶体管的性能极限 并比较其相对于栿-桋族场效应晶体管的潜在优势. , , , , 关键词暋暋石墨烯 量子电容 顶栅场效应晶体管 纵向缩减 YO 2 3 uantumcaacitancein rahene Q p g p 昄 QIU暋ChenGuan暋暋XU暋HuiLon暋暋ZHANG暋ZhiYon 暋暋PENG暋LianMao 灢 g 灢 g 灢 g 灢 ( , , , , ) KeLaborator orthePhsicsandChemistr o Nanodevices Deartmento Electronics Pekin Universit Beiin 100871China y yf