3GPRR平面三自由度纳米定位平台的设计-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 ２５ 　 ７ 　　 Vol．２５　No．７ 　 　　　　 　　　　　　O ticsandPrecisionEnineerin 年 月 p g g ２０１７ ７ 　 　 　 Jul．２０１７ 文章编号 ( ) 　１００４Ｇ９２４X２０１７０７Ｇ１８６６Ｇ０８ ３ＧPRR平面三自由度纳米定位平台的设计 １ １ １∗ １ １ ２ , , , , , 马 立 杨 斌 田应仲 肖金涛 华晓青 孙立宁 　 　 ( , ; １．上海大学 机电工程与自动化学院 上海 ２０００７２ , ) ２．苏州大学 机器人与微系统研究中心 江苏 苏州 ２１５０２１ : , 、 摘要 本文设计了一种由压电陶瓷驱动的应变片进行检测的平面三自由度纳米定位平台 该平台采用的是平板铰链 直 . , 、 . 圆铰链及单边 型铰链导向的 结构 通过建立平台的伪刚体模型及对其进行位姿分析 获得了平台的正 逆解 V ３ＧPRR , . 同时 运用有限元分析方法对平台进行了仿真分析 搭建了３ＧPRR平面三自由度纳米定位平台测试实验系统对所设计 . : 、 、 平台进行试验 实验结果显示 平台沿 轴 轴的行程及最大转角分别为 ３ＧPRR x y －１１．３２~１１．４１ m －１２．４７~１２．７６ μ 、 , 、 、 . 、 μm ３．６３′对应的分辨率分别为 ７１nm ８３nm １．３５″ 理论分析结果 有限元仿真结果与实验结果的最大误差分别为 、 , . ５８７％ ６．１９％ 验证了理论分析和有限元仿真的正确性 x轴及 轴的位移输出与应变片的输出电压近似呈正比关 y , . 系 证实了利用应变片来检测 ３ＧPRR平台运动的可行性 : ; ; ; ; 关 键 词 纳米定位 柔性铰链 压电陶瓷 有限元分析 位移检测 　 　 中图分类号: 文献标识码: : / TP２４２