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KS17.1的.加
N33 J--}
中华 人 民共和 国机械 行业标 准
JB/T9352-1999
透射电子显微镜 试验方法
Testmethodforthertansmissionelectronmicroscope
1999-08-10发布 2000-01一1实施
国 家 机 械 工 业 局 发布
JB/T9352- 1999
前 言
本标准是对ZBN30007-88透《射电子显徽镜试脸方法》的修订。修订时,对原标准作了编辑性修
改,主要技术内容没有变化。
本标准自实施之日起,代替ZBN30007-88,
本标准由全国光学和全国光学仪器标准化技术委员会提出并归口。
本标准负责起草单位:上海电子光学技术研究所、上海光学仪器研究所。
中华人民共和国机械行业标准
透射电子显微镜 试验方法 JB/T9352-1999
代 替 ZB\30007-88
Testmethodforthetransmissionelectronmicroscope
范 围
本标准规定了透射电子显微镜(以下简称电镜)的试验方法。
本标准适用于透射电镜主机性能的试验。
2 引用标谁
下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为
有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB7667-19% 电子显微镜X射线泄漏剂里规定
1B/T9351-1999 电子光学仪器包装通用技术条件
3 总则
3.1本标准的排列次序,并非试验时的规定程序,试验时可按具体情况进行安排,但应以后项试验不受
前项试验的影响为原则。
3.2 电镜应在下列的正常条件下进行试验:
a)环境温度:20W C,变化率小于 1TA ;
b)相对湿度:不超过70%;
C) 电源:单相220V士22V,5OHzt0.5Hz;
三相380V士38V,50Hzt0.5Hz;
d) 电源电压波动率:1min内不大于 1%;
司 具有独立地线,接地电阻不大小411;
0物镜周围杂散磁声,交流不大于3x10-;
B)水源:流量、压力符合产品说明书要求,进水沮度为10`C-25}C;
h)震动:地面振幅不大于2p.m(51rz),5}Lm(10Hz),6pm(20Hz);
i)其它:无影响测量的各种千扰。
3.3 电镜通电预热时间不超过2h.
4 分辨力试验
4.1 试验设备
a)10倍读数放大镜;
b)激光衍射仪。
4.2 试验程序
在测定分辨力时,电镜的放大率必须是经过校正的。
4.2.1 晶格分辨力的试验
国家机械工业局 1999-08-10批准 2000-01一 1实施
1
JB/T9352-1999
使电镜处于最佳工作状态,然后拍摄与电镜指标相应的已知晶格条纹照片,在所拍的照片上,晶格条
纹应该是清晰的,条纹间距与已知的晶格间距相符.此晶格间距即为电镜的晶格分辨力。
4.2.2 点分辨力的试验
4.2.2.1 调整电镜,使其处于最佳工作状态,然后连续拍摄两张点分辨样品的照片。
4.2.2.2 将所拍得的照片进行光学放大,其光学放大率不应大于10倍,放大后的分辨间距不小于
0.4mm,
4.2.2.3
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