单晶炉结构有限元分析及优化设计-机械制造及其自动化专业论文.pdf.docxVIP

摘 要 摘 要 论 文 题 目: 单 晶 炉 结 构 有 限 元 分 析 及 优 化 设 计 学 科 专 业 : 机 械 制 造 及 其 自动 化 研 究 生 : 于 雪 峰 签 名: 斤考峰 指 导教师 : 李 言 教 授 签“:嚷荞、 摘 要 单 晶 炉 是 直 拉 法 制 备 单 晶硅 的 关 键 技 术 装 备 ，其 质 量 和 稳 定 性 对 拉 晶质 量 起 着 决 定 作 用 ，设 计 开 发 时 不 但 要 了解 单 晶 生 长 工 艺 要 求 ，还 要 熟 悉 机 械 、电子 、真 空 和 热 力 等 方 面 的 专 业 技 术 。本 文 针 对 单 晶 炉 设 备 的 机 械 性 能 要 求 ，对 其 结 构 进 行 系 统 分 析 及 优 化 设 计 ， 对 保 证 设 备 性 能 有 重 要 的 作 用 。 本 文 在 分 析 直 拉 式 单 晶 炉 结 构 和 拉 晶 工 艺 过 程 的基 础 上 ，以 TDR一120 型 单 晶 炉 为 研 究 对 象 ，使 用 P ro 尼 软 件 建 立 了 结 构 实 体 三 维 模 型 。分 析 了单 晶炉 的 工 作 过 程 和 工 况 条 件 ， 研 究 了不 同工 况 状 态 下 设备 底 部 的受 力 情 况 ，选 用 SOL ID45 实体 对 简化 后 的设 备 结构 进 行 单 元 划 分 ，通 过 A N S Y S 有 限 元 分 析 方 法 ，获 得 了 设 备 底 部 垫 铁 的 应 力 分 布 云 图 ， 以此 为 条 件 ，计 算 出三 种 不 同工 况 下 各 个 垫 铁 所 受 的 反 力 大 小 ，分 析 了各 支 撑 点 的 受 力 特 点 和 不 同 工 况 的 作 用 力 变 化 趋 势 ， 并 对 三 种 工 况 下 重 要 接 合 面 连 接 螺 栓 的 强 度 进 行 了校 核 计 算 ， 为 单 晶 炉 的 装 配 和 现 场 安 装 提 供 了依 据 。 论 文 分 析 了 影 响 单 晶炉 炉 体 支 承 座 结 构 重 量 的 因 素 ，采 用 正 交 试 验 法 对 对 现 有 单 晶 炉 炉 体 支 承 座 结 构 进 行 仿 真 设 计 ，研 究 了 不 同 设 计 条 件 下 炉 体 支 承 座 的 变 形 规 律 ，找 出 了 最 大 变 形 区 域 和 变 形 量 ， 基 于 最 小 二 乘 原 理 获 得 了 炉 体 支 承 座 结 构 重 量 、 应 变 、 位 移 的 回 归 方 程 。以轻 量 化 为 目标 ，建 立 了 炉 体 支 承 座 结 构 优 化 的 目标 函 数 和 约 束 条 件 ， 得 到 了 可 以 满 足 强 度 和 变 形 要 求 的 最 优 化 设 计 方 案 ， 实 现 了 局 部 结 构 轻 量 化 的 目的 ， 减 重 效 果 明 显 。 针 对 单 晶 炉 设 备 使 用 过 程 中 的 振 动 和 稳 定 性 问题 ，论 文 对 炉 体 结 构 的 振 动 特 性 进 行 了 理 论 和 实 验 研 究 。分 析 了 设 备 整 体 结 构 的 模 态 ，获 得 设 备 前 十 阶 固 有 频 率 和 振 型 ，得 到 了 影 响 系 统 振 动 的 因 素 和 结 构 薄 弱 环 节 ， 通 过 激 振 实 验 获 得 了单 晶 炉 的 固 有 频 率 的 实 验 值 ， 验 证 了 分 析 的 正 确 性 ， 并 对 设 备 运 行 过 程 进 行 了现 场 测 试 ， 得 到 了 不 同 部 位 的 振 动 信 号 ， 经 过 对 比 分 析 ，排 除 了 液 压 泵 和 真 空 泵 对 设 备 振 动 的 影 响 ，获 得 了 工 作 中 的 振 动 主 要 是 零 件 加 工 质 量 、安 装 精 度 和 旋 转 偏 心 造 成 的 结 论 ，这 为 进 行 进 一 步 设 备 振 动 分 析 、提 高 设 备 质 量 提 供 了参 考 依 据 。 关 键 词 : 单 晶 炉 ; 有 限 元 ; 轻 量 化 设 计 ; 模 态 分 析 少 A b A b stra e t T it!G : T H E F !N !T E E L E M E N T S T R U C T U R A L A N A L Y S IS A N D O P T IM U M D E S IG N O F S IN G L E C R Y S I’A L F U R N A C E M aj o r: M e c h a n ie a l M a n u fa