挠性压电定位平台机构设计与振动主动控制方法研究.PDF

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 撓性壓電定位平台機構設計與振動主動控制方法研究 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-218-031- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年10月31日 執 行 單 位 ： 南臺科技大學機械工程系暨研究所 計 畫 主 持 人 ： 劉雲輝 共 同 主 持 人 ：陳國聲 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：李哲維 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文 公 開 資 訊 ： 本計畫可公開查詢 中 華 民 國 100 年 12月 06 日 中 文 摘 要 ： 近年來，主動式振動控制發展快速，應用層面多樣化，如自 動化光學檢測設備。由於安裝於大質量龍門上的顯微鏡組， 在龍門停止或到位，機台晃動需很快的停止，否則CCD鏡頭 組與待測物產生相對位移進而造成影像模糊等問題。因此， 本文主要研究目的在發展出主動式控制撓性平台應用於自動 化光學檢測系統，用來抑制龍門機台之啟動停止，所造成 CCD鏡頭的振動，針對各種不同重量之負載，來模擬CCD鏡 頭重量。本文利用壓電致動器驅動精密定位平台之軌跡控 制，透過閉迴路控制搭配PID控制以及滑動模態控制來改善 定位平台增加負載(Loading)之後造成平台的振盪與不穩定。 於步階響應特性中， overshoot從開迴路的43.8%分別藉由 PID與SMC減小到0.89%和3%；settling time從249.7msec 縮短為35msec和39.3msec；穩態誤差約為91nm和53.8nm。 控制器強健性，平台受外界干擾1.02N恢復至目標，採用 PID控制約需30msec，SMC則需24msec。三角波路徑軌跡追 蹤，於10Hz，SMC的控制效果比PID良好。 中文關鍵詞： 撓性精密定位平台、壓電致動器、定位控制、軌跡追蹤控 制、PID控制、順滑模態控制 英 文 摘 要 ： This paper develops the control system of a piezoelectric micropositioner with PID and sliding mode control approches. In the control system development, the piezoelectric micropositioner is actuated by a voltage amplifier and the PID control approach for trajectory tracking and suppressed vibration are developed from an approximated third- order linear model of the piezoelectric micropositioner. By using the PID and sliding mode