带有可压缩腔和两端固支阀的谐振式压电泵的研究-测试计量技术及仪器专业论文.pdf.docxVIP

研究生优秀毕业论文 中国科学技术大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研宄工作所取得的成 中国科学技术大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研宄工作所取得的成 果。除己特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含任何他人己经发表或撰写 过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了明确 作者签名： 雄 的说明。 签字目期：趔f．f万 中国科学技术大学学位论文授权使用声明 作为申请学位的条件之一，学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学拥 有学位论文的部分使用权，即：学校有权按有关规定向国家有关部门或机构送交 论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，可以将学位论文编入《中国学 位论文全文数据库》等有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制 手段保存、汇编学位论文。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。 保密的学位论文在解密后也遵守此规定。 回公开 口保密(——年) 作者签名：至鲢 导师签名： 签字日期： 鲨垣生[曰够^曰 签字日期：2望￡￡：』．乡厂 万方数据 摘要摘要 摘要 摘要 压电泵是利用压电晶体作为驱动器件，实现流体传输的一种新型流体泵，它 具有结构紧凑、响应速度快、能耗低、无电磁干扰，可根据电压或频率精确输送 微量流体等优点，在化学分析、药物输送、微型机电以及航空航天等领域有巨大 的应用价值。 目前对于传统压电泵的研究已经取得了一系列的成果，国内外开发了满足各 种要求的压电泵。但尚未研究设计出一个能够在输出流量，输出背压及输出精度 等方面均具有良好表现的高性能压电泵。主要限制原因可归纳为三点：一是压电 振子没有良好的机电耦合设计，无法发挥压电材料的高能量密度的优点：二是传 统的单向阀在工作中存在严重的滞后性，无法适应高频工作条件：三是没有考虑 到液体的不可压缩性，压电泵在工作过程中，出、入水口管负载压力大，没有一 个缓冲机构减轻压电泵的负载。 针对以上问题，本文提出了带有可压缩腔缓冲结构及两端固支的PDMS (polydimethylsiloxane)单向阀的新型谐振式压电泵。谐振式压电振子具有良好的 机电耦合特性，在系统谐振频率处，可产生最高的能量转换率；两端固支的PDMS 单向阀具有优良的高频特性，并且无回流和泄漏现象；可压缩腔缓冲结构减轻了 致动器的负载，增加了泵单个周期内的输出流量。 本文设计并优化了压电振子的机电耦合结构，提出了长梁式和折叠振子式两 种机械结构。与长梁式振子相比，采用压电晶片粘贴在折叠振子上作为激励源的 折叠式压电振子，其表面应力分布更为均匀，因此，压电晶片的利用率和能量转 换率更高。此外，多层折叠的机械结构压缩了空间体积，使压电泵整体结构更为 紧凑。压电晶片和金属振子组成的压电振子与泵体部分构成了谐振型压电泵，在 压电泵系统的谐振频率处，压电致动器能量转换率最高，此时，压电泵可获得最 佳的输出性能。本文建立了完整的压电振子模型，通过ANSYS有限元仿真分析 其工作模态、谐振频率和应力分布，并建立了压电振子和泵腔的动力学模型，得 出了谐振频率、模态振型、泵腔体积变化量的计算表达式。 单向阀是压电泵的重要元件，本文提出了一种新型两端固支结构的PDMS 单向阀。从原理和实验两方面，解释并验证了该阀的工作原理和性能表现。大量 的实验数据证明该类型单向阀具有优良的高频特性，良好的反向截止特性，较低 的开启压力，且静态效率可达99．5％，为设计高性能的具有自启动能力的压电泵 提供了重要保证。 万方数据 摘要考虑到液体的不可压缩特性，在一个较长的流道内驱动大的液体负载是较困 摘要 考虑到液体的不可压缩特性，在一个较长的流道内驱动大的液体负载是较困 难的。本文首次提出了位于出入水口处的可压缩腔缓冲结构，采用PDMS薄膜 加工设计，具有结构简单，易变形的特点。在压电泵工作过程中，压缩腔缓冲结 构可有效地减轻刚性泵体的负载，增加单个周期内的输出流量。本文把压电泵的 机械参数等效成电路参数，通过模拟电路仿真软件分析了可压缩腔结构对压电泵 工作性能的影响。实验和仿真结果表明，带有压缩腔缓冲结构的压电泵较无压缩 腔缓冲结构的压电泵输出流量提高了约20％。 本文制作了压电泵样机，采用实验装置测试压电泵输出性能。实验结果表明： 长梁式和折叠振子式压电泵样机均可以稳定输出液体。对于长梁式压电泵，总体 体积为100 mm×20 mm×15 mm，在490 Hz、400 Vp．p的交流激励电压下，样机 泵输出流量可达105 ml／min，输出背压可达23 kPa，功耗仅42 mW。经过结构优 化的折叠振子式压电泵，总体体积为20 mm×20 mm×28 mm，在361 Hz、120Vp．p 的交流激励电压下，样机泵输出流