Q_ZF 07-2018电子工业用混合气体 四氢化硅-氮.pdf

ICS Q/ZF 合 肥 正 帆 电 子 材 料 企 业 标 准 Q/ZF 07-2018 电子工业用混合气体 四氢化硅-氮 文稿版次选择 2018 - 08 - 28 发布 2018 - 08 - 28 实施 合肥正帆电子材料有限公司 发 布 Q/ZF 07—2018 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准于2018年8月28日首次发布。 本标准由合肥正帆电子材料有限公司提出并负责起草。 本标准主要起草人：刘海涛、吴伟、华中锋、严志刚。