软X射线掠入射金属光栅闪耀特性.PDFVIP

维普资讯 第 15卷 第 1期 光学 精密工程 Vo1．15 No．1 2007年 1月 OpticsandPrecisionEngineering Jan．2007 文章编号 1004—924X(2007)01—0001—08 软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的 校正傅里叶展开微分法分析 巴音贺希格 ，朱洪春 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033； 2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：在有限电导率光栅的微分理论中引入校正傅里叶展开方法，改善了计算收敛性 运用改进后的微分理论对软 x 射线波段掠入射金属光栅的闪耀特性做了数值分析，通过详细考察三角槽形、正弦槽形和矩形镀金光栅的软x射线一I 级衍射效率对光栅结构参数和入射光状态参数的响应程度，给出了一种在使用和制作工艺上都能够接受的光栅技术指 标。结果表明，作为闪耀波长为 1O．33rim的软 X射线波段掠入射镀金光栅，采用81。入射的刻线密度为I2001／mm，倾 斜角为2。，顶角大于 120。的三角槽形光栅较为合适，其效率可达到5O 以上。同时，得到了一些优化软X射线波段掠入 射金属光栅设计的新结论。 关 键 词：软X射线，掠入射光栅；闪耀特性；校正傅里叶展开；微分法 中图分类号：0436．I；0438．2 文献标识码 ：A Analysisonblazecharacteristicsofgrazingincidencemetalgrating insoftX-rayregionbydifferentialtheorywithcorrectFourierexpansion Bayanheshig一 ZHU Hong-chun’。 (1．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyof Sciences，Changchun130033，China； 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：Inordertoimprovetheconvergencerate，acorrectFourierexpandmethodwasintroducedto differentialtheoryofthefiniteconductivitydiffractiongrating．Usingmodifieddifferentialtheoryof thefiniteconductivitydiffractiongrating。thediffractioncharacteristicsofmetalgratingundergrazing incidenceinsoftX-rayregionwereanalysednumerically．Afterresearchingoneffectoftheefficiencies ofthetriangular，sinusoidalandrectangulargoldlamellargratingsontheparametersofgratingstruc tureandincidenceinsoftX-rayregionand一1diffractiveorder。aacceptablegratingtechnica1specifi— cationwasgivenout．Experimentalresultshowsthatforthegrazingincidencegoldgratingin 1200 groove／mm insoftX—rayregionatblazewavelength10．33nm，triangulargratingefficiencycan