基于机械—化学方法硅表面芳香烃重氮盐单层膜的制备-机械工程学报.PDFVIP

第 45 卷第 7 期 机 械 工 程 学 报 Vol.45 No.7 2009 年 7 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Jul. 2009 DOI ：10.3901/JME.2009.07.249 基于机械—化学方法硅表面芳香烃重氮盐 单层膜的制备* 1, 2 1 1 1 史立秋 孙 涛 闫永达 董 申 (1. 哈尔滨工业大学精密工程研究所 哈尔滨 150001 ； 2. 佳木斯大学机械工程学院 佳木斯 154007) 摘要：基于金刚石刀具建立能在溶液中加工微小结构的微加工系统，在一端为硝基的四氟化硼芳烃重氮盐溶液(NO2 C H N BF ) 中用该系统切削硅片，利用机械与化学结合的方法使得芳香烃分子和切削过的硅片之间以共价键连接，实现硅表 6 4 2 4 面的“成形并功能化”的一步完成，为纳米尺度功能化结构的构筑提供一定的试验基础。用扫描电子显微镜(Scanning electronic microscopy ，SEM)表征不同切削力下的微结构表面形貌图，为下一步在溶液中“成形并功能化”硅表面提供好的基底。用 X 射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy，XPS )和原子力显微镜(Atomic force microscopy，AFM)分别研究组装时间和 切削速度对切削处生成自组装单层膜(Self-assembly monolayer，SAMs)质量的影响，总结出本试验条件下切削力为 20 mN ， 组装时间为 12 h 左右，切削速度为 500 nm/s 的时候组装膜表面质量较好。并用AFM 对自组装膜的纳米摩擦性能进行检测， 证明组装前后硅基底表面的化学组成发生了变化，组装后 SAMs 表面的摩擦力较大。 关键词：机械—化学方法 芳香烃重氮盐 硅 单层膜 中图分类号：TH161 Mechanochemical Method to Prepare Aryl Diazonium Salts Monolayer on Silicon Surfaces SHI Liqiu1, 2 SUN Tao1 YAN Yongda1 DONG Shen1 (1. Precision Engineering Research Institute, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001； 2. College of Mechanical Engineering, Jiamusi University, Jiamusi 154007) Abstract ：A micromachining system based on diamond tool is built, which can process micro structure in solution. The system is used to scribe the silicon surface in aryldiazonium salt solution (NO C H N BF ). Arenes can be connected with silicon atom with 2 6 4 2 4 covalent bonds. Functionalizing and patterning silicon surface are r