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Chapter 3 產生真空的辦法 第一節第一節 真空幫浦真空幫浦
vacuum pump
定義：
33.11 真空幫浦真空幫浦
真空幫浦為一種裝置可將真空系統中的氣體抽出，使返
3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦 回真空系統中的氣體數量較抽出真空系統的氣體數量為
33.33 高真空到超高真空抽氣用的幫浦高真空到超高真空抽氣用的幫浦 少少
3.4 抽真空系統的幫浦組合 不論為何種形狀構造或何種抽氣原理，均稱為真空幫浦
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真空幫浦的分類
排氣式幫浦排氣式幫浦 真空幫浦的一般性能真空幫浦的一般性能
正位移式幫浦（positive displacement type）
往復式幫浦往復式幫浦 最終壓力最終壓力 （ultimate pressure）
迴轉式幫浦 (rotary pump and scroll pump) 若真空幫浦僅抽其本身的氣體，在真空幫浦的出口處測
動能式幫浦動能式幫浦 （kinetic energy type） 定壓力定壓力 ，，則幫浦的壓力下降至一極限值後即不會再下降則幫浦的壓力下降至一極限值後即不會再下降
操作壓力範圍 （ operational pressure range ）
機械動能傳遞式 (turbo-molecular pump)
通常選擇真空幫浦時應考慮要能維持此真空系統操作的通常選擇真空幫浦時應考慮要能維持此真空系統操作的
流體（蒸氣）動能傳遞式 (diffusion pump) 壓力範圍
貯氣式幫浦 抽氣速率
吸附式幫浦（ surface adsorption type pump ） 抽氣速率一般多用為真空幫浦的規格
吸附幫浦（ sorption pump ） 氣體的選擇性（ selectivity ）
結拖幫浦（ getter pump ） 氣體的選擇性與幫浦的操作原理有關
冷凍幫浦（cryogenic pump簡稱 cryo pump ）
離子幫浦（ion pump)
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