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用等离子化学气相沉积法沉积阀座和阀杆的陶瓷膜.pdfVIP

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  • 2019-01-16 发布于新疆
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用等离子化学气相沉积法沉积阀座和阀杆的陶瓷膜.pdf

    维普资讯 标准分享网 免费下载 够 ，调杆 饲 磁， 弓f一 一 。 闽 门 】998年第1期 用等离子化学气相沉积法沉积阀座和阀杆的陶瓷膜 蒋悖始 衙 l7牛．4g-3 1·前言 ’ 质合金切削刀片的热CVD所用的涂复方法进 为了延长核动力装置中阀座和阀杆的使用 行设计，并专门配备了三极管电极， ‘便在低沉 寿命，利用等离子化学气相沉积(CVD)开发了 积温度下达到高的附着强度。这些试验中所用 一 种独特的陶瓷涂复技术。在司太立台金和不

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