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中华人民共和国国家计量检定系统
JJG2022-89
真 空 计 妞 器 具
1989年8月15日批准 1390年5月1日实施
国家技 术 监 督局
真空计且器具检定系统
Verification Scheme of Measuring Instruments
for Vacuum
JJG 2022-89
本国家计量检定系统经国家技术监督局于工989年8月15日批
准,并自1990年5月1日起施行。
起草单位: 中国计量科学研究院
本检定系统技术条文由起草单位负责解释。
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本检定系统主要起草人:
费渭南 (中国计量科学研究院)
参加拐草人:
周起春 (中国计量科学研究院)
张家英 (中国计量科学研究院)
目 录
一 计量基准器具 ( I )
二 计量标准器具· (3 )
三 工作计量器具· ( 7 )
四 真空计量器具检定系统框图·······························…… (8)
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JJG2022-89 共8页 第 1页
真空计量器具检定系统
在真空科学技术领域中,通常由 “真空度”量值表示低于环境大
气压的气体的稀薄程度。
根据当前真空科学技术发展的水平,真空度获得和测量的范围,
已从大气压((105Pa)室极高真空(10-Pa).但工业生产和科学
研究中实际广泛应用的范围为10-0^10Pa.为了保证该范围内真
空度量值的准确一致,.制定本检定系统,进行真空量值传递,检定各
级真空计量器具.
本检定系统主要适用于 10-8^105Pa范围内,计量、科研和工业
部门使用的真空标准装置和真空计的检定。
一 计且 墓 准器具
1真空国家基准主要用于复现和传递真空度呈值,是统一全国
真空度量值的最高依据.
2 真空国家基准由三个不同范围的真空装置组成:
2.15x10-e^-1Pa 压缩式真空计装置
2.21^-1x108Pa 压缩式真空计装置
2.35x10.1x105Pa 液体压力计装置
3 国家基准复现的量的总范围为
5x10-e-1x105Pa
4 不确定度
4.1压缩式真空计装置
真空度计算公式为:
P=PgKhlh= (1)
式中: P- t℃时汞密度,
9— 当地重力加速度,
K一 真空计常数,
h,— 有效汞柱面高度差,
共8页 第2页 JJG 2022-89
h:— 压缩后气柱有效高度.
由各参数的误差引入的不确定度为:
d,=“dp+d;+da+d;, +d;: (2)
装置真空度的不稳定性为d:,则总不确定度为;
d=d,+d, (3)
装置在测量下限P二5 x 10-s Pa时,
d,=1.5io
d,=0.2
得
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