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微电子封装中的喷射点胶过程建模和控制
中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月
28 6 2017 3
微电子封装中的喷射点胶过程建模和控制
谭 芳 单修洋
, ,
中南大学机电工程学院 长沙 410083
: ,
摘要 针对喷射点胶阀存在点胶一致性差的问题 提出了一种基于体积估计模型的批次 控制策
PI
. , ,
略 通过对胶体流变特性进行分析 基于胶体剪切应力和剪切速率关系建立了喷射点胶的流量模型 依
. , .
此推导出体积估计模型 基于建立的模型 运用批次 算法来实现喷射点胶阀的一致性控制 仿真和
PI
, .
实验结果验证了体积估计模型的可靠性 并表明该控制方法能有效地改善喷射点胶的一致性
: ; ; ;
关键词 喷射点胶 流变特性 体积估计模型 一致性
中图分类号: : /
TP273 DOI10.3969 .issn.1004132X.2017.06.004
j
Modelin andControlofJettin Disensin ProcessesinMicroelectronicsPackain
g g p g g g
TANFan SHANXiuan
g y g
, , ,
ColleeofMechanicalandElectricalEnineerin CentralSouthUniversit Chansha410083
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: ,
AbstractTosolvethe roblemsofconsistenc ofettin disensin sstems aRunb RunPI
p y j g p g y y
,
controlmethodwasroosed whichwasbasedonthedro volumeestimationmodel.Therheoloical
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