分焦平面型光学测量系统的器件与算法研究仪器科学与技术专业论文.docxVIP

中国科学技术大学博士学位论文 中国科学技术大学 博士学位论文 分焦平面型光学测量系统的 器件与算法研究 作者姓名： 闫佩正 学科专业： 仪器科学与技术 导师姓名： 王克逸教授 完成时间： 二O一五年五月四日 万方数据 U U niversit)ofniverslty ot Sciencecience andnd Techech nolog、ofnoloqv hh inaI A d issertation for doctor’S deg ree Research on Element and Algorithm i n Division of Focal—·Plane Array Approach Author’S Name：Peizheng yan speciality： Instrument Science and Technology Supervisor：Prof．Keyi Wang Finished time： May 4m，20 1 5 万方数据 中国科学技术大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成 中国科学技术大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成 果。除已特另JDEi以标注和致谢的地方外，论文中不包含任何他人已经发表或撰 写过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均己在论文中作了 明确的说明。作者虢薄 签字日期：加f岁．‘．乒 中国科学技术大学学位论文授权使用声明 作为申请学位的条件之一，学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学 拥有学位论文的部分使用权，即：学校有权按有关规定向国家有关部门或机构 送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，可以将学位论文编入《中 国学位论文全文数据库》等有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的内 容相一致。 保密的学位论文在解密后也遵守此规定。 峨≥开口保密(——年) 作者魏I虱丝凰至 导师签名： 签字日期： 垫!三：墨：生 签字日期： ≥迅!!：生 万方数据 摘要摘要 摘要 摘要 在相移干涉和偏振成像光学测量中，需要采集多幅图像才能重构出被测的相 位或斯托克斯矢量。普通的分时采集方法受到被测目标和测量系统间的振动、空 气扰动等因素的影响，对测量环境要求较高。基于像素模板的分焦平面型光学测 量系统，可以采集单幅图实现相移干涉或偏振成像的测量，可实现快速运动目标 和脉冲光的测量，而且通过对多次测量进行平均，可以减小空气扰动的影响。 分焦平面型光学测量系统的核心器件是偏振元件组成的像素模板，现有的像 素模板都要采用复杂的微纳加工工艺制作。本文利用偶氮苯聚合物的光致取向和 由其导致的双折射特性，通过简单的光刻工艺制作了偶氮取向阵列；实验验证该 器件可以作为波片阵列的像素模板应用于分焦平面型光学测量系统中：对于分焦 平面型光学测量系统的像素失配误差，研究了各种重构算法的误差。本文具体研 究成果如下： (1)利用光弹调制器实时测量偶氮苯聚合物薄膜光致双折射的变化规律。 在405nm线偏振光照射下，偶氮苯聚合物的双折射会逐渐增大并稳定在一定值： 关掉诱导光后，双折射会略有降低，并最终趋于稳定。本文使用的PCN6薄膜， 实测最终的稳定的相位延迟是121。。 (2)利用整体被405nm偏振光照射后的偶氮聚合物薄膜，设计了旋转各向 异性薄膜实现偏振相移的干涉系统。将薄膜依次旋转到万／3，万／6，．n／6和．7／／3 采集四幅具有不同相移的干涉图，并由其重构出参考光与被测光的相位差，表明 具有光致各向异性的偶氮苯聚合物薄膜可以应用于相移干涉系统中。 (3)通过偏振可控的激光直写装置，对偶氮苯聚合物薄膜进行曝光，使偶 氮苯聚合物薄膜被周期性的光致取向，形成波片阵列，每个单元的尺寸是 109mxl0-tm，其相位延迟量均为120。，但是快轴方向周期性变化。利用该波片 阵列，搭建了分焦平面型偏振相移干涉系统，实现了对平面镜的干涉测量，重构 相位误差的最大值是0．13 rad。在相位测量的基础上，进一步求解出入射到波片 阵列上光束的琼斯矢量，实现了相干光的偏振成像。 (4)研究了分焦平面型相移干涉系统相位重构算法的误差，比较了多点平均 法、插值法、频域重构法对分焦平面型测量系统的像素失配误差的抑制作用。其 中频域重构法的精度最高，三次样条插值法其次，多点平均法最差。在波片作为 像素模板时，为了能够使用频域重构法，需要波片的光致双折射引起的相位延迟 量为126．9。，而三次样条插值法没有该要求。 (5)设计了可用于全斯托克斯偏振成像的波片阵列，研究了利用波片阵列 万方数据 摘 摘 要 的分焦平面型偏振成像系统的重构方