光学晶体离子注入智能切割机理研究光学工程专业论文.docxVIP

山东大学博士学位论文目 山东大学博士学位论文 目 录 摘要 ．．I Abstract ．．IV 符号说明 Ix 第一章绪论 1 1．1集成光学 1 1．1．1集成光学的发展 1 1．1．2集成光学材料 ．2 1．2光学晶体薄膜及其异质结构制备 ．．5 1．2．1常见薄膜制备方法 5 1．2．2以离子注入为基础的晶体薄膜制备 6 1．3论文的研究内容与安排 10 1．3．1课题来源 10 1．3．2论文研究内容 。1 1 1．3．3论文安排 ．．12 第二章离子注入和晶片绑定技术 ．19 2．1离子注入的基本理论 19 2．2离子射程和注入损伤分布 21 2．3离子束的热效应 25 2．4离子注入的装置及其应用 26 2．5晶片键合技术 28 2．5．1晶片直接绑定技术 ．．28 2．5．2晶片间接绑定技术 ．．29 第三章实验分析及测试方法 ．33 3．1卢瑟福背散射／沟道分析技术 。33 3．1．1基本原理 ．．33 3．1．2背散射技术的实验装置及应用 ．．38 3．2弹性反冲分析 40 3．3高分辨X射线衍射 41 万方数据 山东大学博士学位论文3．4红外吸收和拉曼散射光谱 山东大学博士学位论文 3．4红外吸收和拉曼散射光谱 43 3．5光学显微镜和扫描、透射电镜 45 第四章H注入钽酸锂晶体的离子切割机理 ．49 4．1实验方法及测试过程 49 4．2实验结果 50 4．3气泡形成机制 56 第五章He注入钽酸锂晶体的离子切割研究 6l 5．1实验过程及测试方法 61 5．2实验结果与讨论 62 第六章H和He共注钽酸锂实现单晶薄膜剥离 。7l 6．1实验过程及测试方法 71 6．2实验结果与讨论 72 第七章He离子注入制备KTiOP04单晶薄膜 ．8l 7．1实验过程 ．81 7．2实验结果及分析 82 第八章H和He离子共注KTiOPO。晶体的晶格改性研究 87 8．1实验过程 87 8．2实验结果及分析 87 8．3实验结论 94 第九章总结 97 9．1主要内容与成果 97 9．1．1 H离子注入钽酸锂晶体实现薄膜剥离的机理 97 9．1．2 He离子以及H，He共注实现钽酸锂薄膜剥离 ．98 9．1．3高能He离子注入结合湿法刻蚀制备磷酸钛钾氧单晶薄膜 99 9．1．4 H和He共注引起的磷酸钛钾氧晶格结构变化 99 9．2主要创新点 一100 j$C谢 ．101 攻读博士学位期间发表的论文及获得的奖励 ．103 附英文论文两篇 105 万方数据 山东大学博士学位论文CoNTENTS 山东大学博士学位论文 CoNTENTS Chinese Abstract ． ． ．．．I Abstract ． ．IV Symbol list ．IX Chapter 1 Introduction ．1 1．1 Integrated optics 1 1．1．1 The development ofintegrated optics ．．1 1．I．2 Materials for integrated optics． ．．． ． ． ．2 1．2 Fabrication ofsingle crystal films and heterogeneous structure． ．5 1．2．1 Methods for film fabrication ．5 1．2．2 Single crystal film fabricated by ion implantation ．6 1．3 Research contents in this dessertation ．10 Chapter 2 Ion implantation and wafer bonding ．19 2．1 Principle analysis ．．19 2．2 arojection and damage ．． ．． ． ．21 2．3 Thermal effect of ion beam 25 2．4 Ion implanter and its application 26 2．5 Wafer bonding ．．．．．．．．．．． ． ．．．．．．．．．．．． ．． ．．．．．28 2．5．1 Direct wafer bonding ．．．．．．．