不同形貌cuo纳米材料的制备及其气敏性能研究材料加工工程专业论文.docxVIP

不同形貌CuO纳米材料的制备及其气敏性能研究学术论文完成日期： 不同形貌CuO纳米材料的制备及其气敏性能研究 学术论文完成日期： 如|玉·叶，幻 指导教师签字： 答辩委员会成员签字： 趟基 万方数据 青岛科技大学研究生学位论文不同形貌CuO纳米材料的制备及其气敏性能研究 青岛科技大学研究生学位论文 不同形貌CuO纳米材料的制备及其气敏性能研究 摘要 随着近年来人们对环境监测和人身安全重视程度的增加，环境中存在的有毒 及可燃挥发性有机物(VOC)的检测逐渐成为人们的研究热点。纳米结构的CuO 作为-；re无毒经济的P型半导体材料，同时拥有较大的比表面积以及独特的尺寸 效应，具有非常广泛的商业应用，在作为气敏材料使用时呈现出优良的气敏响应 性能。 本文通过简单经济的水溶液反应制备了零维CuO纳米粒子、一维CuO纳米 线和二维CuO纳米片，并经后期手工涂覆与管式电极相结合构建出三种不I司形貌 的纳米CuO气敏传感器。在单独测试时对于所测VOC，气敏响应信号明显，基 线稳定，响应和恢复时间短，重复性好，具有较好的测试可信性；均对所测9一11 种VOC中的乙醇、甲醇、丙酮具有一定的选择性，CuO纳米片的气敏响应灵敏 度均高于CuO纳米粒子：最佳工作温度均为3000C左右，CuO纳米线在2000C 下即可产生较稳定的气敏响应；无论在低温170。C还是高温3200C下，CuO纳米 片对乙醇、丙酮、甲醇的气敏响应灵敏度均高于CuO纳米粒子；在300。C下，对 10．1000ppm乙醇蒸汽的气敏响应灵敏度高低排序为：CuO纳米线CuO纳米 片CuO纳米粒子，且均高于商用Sn02气敏传感器。 为J，克服传统的粗糙涂覆工艺对传感器性能所带来的负面影响，还利用磁控 溅射技术制备铜膜，探讨了溅射电流和溅射时间对铜膜导通性的影响，得到了制 备铜膜的最佳溅射条件，将铜膜经后期热氧化构建得到一体化CuO纳米粒子气敏 传感器，该传感器对不同VOC的响应信号明显、快速、基线稳定、恢复性好， 具有良好的重复性，对测试的11种VOC中的乙醇、甲醇、丙酮具有一定的选择 性；相比经手工涂覆构建而成的零维CuO纳米粒子气敏传感器和一维CuO纳米 线气敏传感器，在2000C时对20．500ppm乙醇蒸汽响应灵敏度最高，响应时间 (4—10 s)和恢复时间(4．8s)最短；当接触到20．500ppm的CCh蒸汽时呈现出 与其他所测氯化物(1，2-二氯乙烷、1，1，2．三氯乙烷以及二氯甲烷)完全相反的电 阻值变化规律。 将不同形貌的纳米CuO材料通过相同的后期涂覆工艺与传感元件相结合，比 较基于此构建而成的气敏传感器气敏响应特性的差异；通过磁控溅射技术构建的 万方数据 不同形貌CuO纳米材料的制备及其气敏性能研究性能更加优越的一体化气敏传感器，保证了敏感膜良好的基底附着性和稳定的欧 不同形貌CuO纳米材料的制备及其气敏性能研究 性能更加优越的一体化气敏传感器，保证了敏感膜良好的基底附着性和稳定的欧 姆接触，这些研究对于CuO气敏材料适用范围的选择、利用效率的提高以及构建 更加高效的传感设备都具有非常重要的意义。 关键词CuO纳米粒子CuO纳米线CuO纳米片磁控溅射挥发性有机物 气敏性能 Il 万方数据 ——————————————————————————————————————————一 ——————————————————————————————————————————一青堕科垫奎堂堕壅竺堂堕堕奎—— STUDY ON THE SYNTHESIS AND SENSING PROPERTY OF CuO NANOMATERIALS WITH DIFFERENT MORPHOLoGIES ABSTRACT In recent years，with the strengthening emphasis on environmental monitoring and human security，the studies on detection of toxic and flammable volatile organic compounds(VOCs)have drawn considerable attentions· Nanostructured copper oxide(CuO)，as nontoxic and low—cost p-type semiconductor, owns wide commercial applications because of its large surface·to-volume ratio and size e仃ect and exhibits outstanding sensing properties when used as