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功能陶瓷超精密加工技术的现状与发展 袁巨龙 吕冰海 常 敏 浙江工业大学机电学院 杭州 310014 摘要 介绍了功能陶瓷超精加工技术 尤其是超精密抛光的技术概要 对各种先进的超精密抛光原理与方 法进行了简单描述与评价 阐述了功能陶瓷超精密抛光技术的国内外研究现状与发展趋势 归纳了技术发 展的特点 提出了功能陶瓷超精密抛光技术的发展前景 关键词 功能陶瓷 超精密加工技术 抛光 0 前言 随着微电子技术和信息技术的飞速发展 新材料发展的重点已经从结构材料转向功能材料 尤 其陶瓷材料得到了惊人的发展 具有不同性能的陶瓷材料相继研制成功 逐步成为高技术发展的重 点关键材料 功能陶瓷主要是指利用材料的电 磁 声 光 热等方面直接的或耦合的效应以实现某种使用 功能的陶瓷 由于功能陶瓷本身所具有的特殊物理性能 使之在电子 通信 计算机 激光 航空 航天等技术领域的发展中起到越来越重要的作用 目前 利用纳米微粒的特性可以制备出有特殊性 能的纳米功能陶瓷材料 使其具有更诱人的应用前景 由于大部分功能陶瓷属于硬脆材料 加工难度很大 其最终加工精度 表面加工质量和损伤层 深度直接对元器件的性能产生影