第1节 绪论和织形貌分析.pptVIP

铁器，水泥，钢时代,石油，信息…… 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 光通过显微镜时发生衍射，物体上一个点在成像时不是一个点，而是一个衍射光斑，可见光作为光源的显微镜，分辨率极限是0.2 μm。 若提高显微镜的分辨本领，须使用更短波长的照明源，紫外线波长200-250nm范围，分辨率可达到0.1μm，即100nm。 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 X射线波长0.05~10纳米 γ射线波长＜0.001纳米 直线传播，具有很强的穿透能力， 不能直接被聚焦，不适合做显微镜的照明源 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 1924年法国物理学德布罗意（DeBroglie, Louis victor 1892 – 1987）指出，微观粒子除了具有粒子性外，还具有波动性，并且能量越大，波长越短。 如果能用高能电子束代替光束，而电子束的波长远小于光束的波长，那么不就可以大大提高显微镜的分辨力了吗？ 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 在20世纪20年代末，鲁斯卡（Ruska, Ernst）经过多次实验探索，利用电磁场控制电子束的运动方向，将通过样品，带有样品微观结构信息的电子束再打到荧光屏或照相底片上，形成分辨率极高的图像。 终于在1933年研制成功世界上第一台电子显微镜，开创了人类研究微观世界的新纪元。鲁斯卡因此分享了1986年的诺贝尔物理学奖。 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 1952年，英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜(SEM)。SEM主要用于观察样品的表面形貌、割裂面结构、管腔内表面的结构等。 目前扫描电子显微镜分辨率已达到1nm，是研究微观结构及性能的必要研究手段，可用于粉末、复合材料、切削表面等研究。 但电子显微镜存在着很多不足，高速电子容易透入物质深处，低速电子又容易被样品的电磁场偏折，故电子显微镜很少能对表面结构有所揭示。 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 扫描隧道显微镜 (STM) 依靠“隧道效应”工作：没有镜头，使用一根探针，探针和物体之间加上电压，如果探针和物体表面很近---大约在纳米级距离上---隧道效应就会起作用。电子会穿过物体与探针之间的空隙，形成一股微弱电流，如果探针与物体距离发生变化，这股电流也会相应的改变。通过测量电流探测物体表面形状，分辨率可达到原子级别。1986年Binning和Rohrer获得诺贝尔物理学奖。 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 原子力显微镜 (AFM) 1986年,为了观察绝缘材料表面的原子图像,IBM的G.Binning和斯坦福大学的C.F.Quate、C.Gerber合作,发明了原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM) 一个对力非常敏感的微悬臂，其尖端有一个微小的探针，当探针轻微地接触样品表面时，由于探针尖端的原子与样品表面的原子之间产生极其微弱的相互作用力而使微悬臂弯曲，将微悬臂弯曲的形变信号转换成光电信号并进行放大，就可以得到原子之间力的微弱变化的信号。从这里我们可以看出，原子力显微镜设计的高明之处在于利用微悬臂间接地感受和放大原子之间的作用力，从而达到检测的目的。 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 扫描近场光学显微境 (NSOM) 将一个同时具有传输激光和接收信号功能的光纤微探针移近样品表面，微探针表面除了尖端部分以外均镀有金属层以防止光信号泄露，探针的尖端未镀金属层的裸露部分用于在微区发射激光和接收信号。 当控制光纤探针在样品表面扫描时，探针一方面发射激光在样品表面形成隐失场，另一方面又接收10-100纳米范围内的近场信号。探针接收到的近场信号经光纤传输到光学镜头或数字摄像头进行记录、处理，在逐点还原成图象等信号。近场光学显微镜的其它部分与STM或AFM很相似。 光学显微镜 电子显微镜 扫描探针显微镜 组织形貌分析仪器发展的三个阶段 扫描探针显微镜家族： 扫描隧道显微镜（STM） 原子力显微镜（AFM） 扫描近场光学显微境（SNOM） 弹道电子发射显微镜（BEEM） 扫描力显微镜（SFM） 观察范围及典型物体 本节课的重点 第一: 组织形貌分析的三个阶段 第二: 提高光学显微镜的分辨率的手段 第三：电子显微镜的照明光源 第四： 扫描探针显微镜家族 光线通过角膜、晶状体投影到视网膜上，通过视神经到达大脑皮层 第一代显微镜——光学显微