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基于长程表面等离子体和波导结构的spr技术的研究集成电路工程专业论文
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声 明
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论文作者签名: 边盗 日期:丝丛:么查
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签名:起坐 日期:丝!三:笪:笸
导师签名:主拯娩 日期:冱盛:亟[2
万方数据
太原理工大学硕士研究生学位论文基于长程表面等离子体和波导结构的
太原理工大学硕士研究生学位论文
基于长程表面等离子体和波导结构的SPR技术的研究
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摘要
表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)技术具有样品无需 纯化、免标记、检测速度快、能够实时分析等优点,在医疗,生物,食品, 环境监测等领域具有广泛的应用前景,因而成为人们研究的热点之一。然 而,角度调制模式下,传统三层结构的SPR(Conventional SPR,CSPR)曲线
较宽,共振角往往难以准确确定,当待测介质折射率变化较小时,共振角 的变化值也难以准确确定。本文以解决这一问题为目的,采用氟化镁介质 薄膜分别作为缓冲层和波导层,建立了长程表面等离子体共振(Long-Range SPK LRSPR)结构和耦合等离子体一波导共振结构(Coupled Plasmon.Waveguide Resonance,CPWR)。分别在角度调制、光强调制和相 位调制模式下将两种共振结构的传感性能与CSPR进行了对比分析。主要 内容如下:
1.采用氟化镁薄膜分别作为缓冲层和波导层,以待测水溶液折射率的 微小变化为检测对象,建立了LRSPR和CPWR两种共振结构。与CSPR结 构进行了对比分析,发现LRSPR和CPWR具有更加细锐的共振曲线。
2.对CSPR、LRSPR和CPWR结构中的金属薄膜以及氟化镁厚度的优 化配比进行了数值计算,得到的优化厚度配比分别为:CSPR结构中,金膜 厚度为50 nm,若选用银膜,则其厚度为55 nm;LRSPR结构中,金膜厚度 为30 nm,氟化镁厚度为700 nm(银膜厚度40 nm,氟化镁介质层厚度为
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万方数据
太原理工大学硕士研究生学位论文700
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700 rim);CPWR结构中,金膜厚度为50 am,氟化镁厚度为700 nm(银膜
厚度为55 am,氟化镁厚度为700 nm。
3.在角度调制、光强调制和相位调制模式下,比较了三种优化结构的 共振曲线及其传感检测性能。通过数值计算,发现在光强调制模式下, LRSPR和CPWR结构都可以优化SPR曲线并提高SPR的成像灵敏度。若 金属层采用银膜,LRSPR结构的成像灵敏度可以达到225.3,CPWR结构的 成像灵敏度可达603.9,都远高于传统CSPR结构的灵敏度,在相位调制模 式下LRSPR具有较好的传感检测性能,但是CPWR结构中,我们无法找到 合适的观测角度来检测相位的变化,这也是今后的工作重点。
关键词:表面等离子体共振;长程表面等离子体共振:耦合等离子体一波导 共振;调制模式,灵敏度
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万方数据
太原理工大学硕士研究生学位论文THE
太原理工大学硕士研究生学位论文
THE STUDY ON SPR TECHNOLOGY BASED ON
LONG.RANGE SI 7RFACE PLASMA ANDⅥ伊帆GUⅡ)E
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ABSTRACT
Surface Plasmon Resonance(SPR)technology with the advantages of samples without purification,label·free,fast detection speed and real time analysis,can be applied in the health,biological,food,environmental monitoring and other fields,SO it became one of the hot topics of research. However,the SPR curve of the conventio
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