磁控溅射电源关键技术的研究检测技术与自动化装置专业论文.docxVIP

摘 摘 要 论 文 题 目: 磁 控 溅 射 电源 关 键 技 术 的研 究 学 科 名 称 : 检 测 技 术 与 自动 化 装 置 研 究 生 : 李 岩 签“:袅 属， 指 导 教 师 : 孙 强 教 授 签名:‘二《… 摘 要 磁 控 溅 射 工 艺 中 负 载 为 等 离 子 体 ，其 负 载 特 性 与 改 善 电源 输 出质 量 有 着 密 切 的 关 系 。本 文 通 过 已有 实 验 结 果 的 分 析 ，提 出 了一 种 磁 控 溅 射 等 离 子 体 负 载 的 等 效 电路 模 型 ， 归 纳 出 等 离 子 体 特 性 对 工 艺 、 电源 的 影 响 ，并 给 出模 型 参 数 的 计 算 方 法 。 设 计 出 以 B o os t 电路 为 主 要 结 构 的 启 动 模 块 ，并 提 出 相 应 的 启 动 策 略 ，达 到 了 新 型 磁 控 溅 射 工 艺 所 要 求 的 高 压 启 动 : 提 出 了 一 种 二 极 管 续 流 电路 ，解 决 了 由于 负 载 的 非 阻 性 引 起 的 电 源 输 出 震 荡 问题 ; 结 合 双 靶 工 艺 指 标 ，设 计 出 两 路 输 出 磁 控 溅 射 脉 冲 电 源 的 主 电路 拓 扑 ; 分 析 了 移 相 全 桥 ZV S一pWM 一D C /D C (Z ero 一vo ltage一S w itch P u lse一wi dt h 一M o e一u lat i on D C 心 C) 变 换 器 的 工 作 原 理 ，设 计 出 了在 宽 负 载 条 件 下 能 够 实 现 零 电压 通 断 的 变 换 器 结 构 参 数 。 本 文 对 所 设 计 的 电源 系 统 进 行 了 基 于 PS P 工C E 、 S IM U L 工N K 的 仿 真 分 析 ， 制 作 模 块 单 板 进 行 了 实 验 ，从 实 验 波 形 上 可 以看 出 ，该 设 计 实 现 了两 路 输 出磁 控 溅 射 脉 冲 电源 的 高 压 启 动 并 且 稳 定 了 输 出 ， 同 时 实 现 了 ，提 高 了 电源 的 整 体 效 率 。 关 键 词 : 等 离 子 体 负 载 电 路 模 型 ; B oo st 启 动 模 块 ; 二 极 管 续 流 模 块 ; Z V S ; 磁 控 溅 射 ) 西安 理 西安 理 工 大 学硕 士 学位 论 文 T it!e : R E S E A R C H O F S E V E R A L K E Y T E C H N IQ U E S A B O U T M A G N E T R O N S P U T T E R IN G P O W E R S U P P LY M aj o r: M e a s u re m e n t Te e h n o lo g y a n d A u to m a t io n in s ta lla tio n s N a m G : 丫白n L ! 5igna，ure :瑙 缝 场 2/l) S u P e rv is o r : P ro f. Q ia n g S U N s’gna，一二 护 势 A b s t门 C t D u rin g M a gn e tro n S P u tt e r te e hn o lo gy th e lo a d w as re g a rd e d as ‘“P la sm 扩’，P las m a e h ar ac te ristie h as a e lo se re lat io n sh iP w ith im P ro v in g q u a lity o f o ut P u t o f P o w er sy ste m . T h e P aP e r e st a b lish e d e q u iv a le n t e ire u it o f m a g n e tro n sP utt e rin g P las m 礼 m ad e a s um m ary o f in fl u e n e e b e tw e e n P la srn a e h ar a ct e ristie an d M a g n e tro n S P u tt e r te e hn o lo g y o r