薄膜干涉-等厚纹.pptVIP

同学们好！ n1 n2 n3 i b a a’ b’ A B C 当一束平行光入射到厚度不均匀的透明介质薄膜上，如图所示，两光线 a 和b 的光程差： §17－5 薄膜干涉－等厚条纹 一、等厚干涉条纹 点光源放在透镜的焦平面上，平行光入射薄膜 AC=BC，这区域认为薄膜均匀，令厚度为e 当 i 保持不变时，光程差仅与膜的厚度有关，凡厚度相同的地方光程差相同，从而对应同一条干涉条纹--- 等厚干涉条纹。 为此，明纹和暗纹出现的条件为： 若光线垂直入射膜面，即 ， 光程差公式简化为： 二、劈尖膜 1.装置： 两光学平板玻璃一端接触，另一端垫一薄纸或细丝 单色、平行光垂直入射 S M 劈尖角 2.明暗条纹条件 明 暗 3.条纹特点 （1）形态(与薄膜等厚线相同)：平行于棱边，明、暗相间条纹 棱边处: e = 0, θ L ek ek+1 （2）相邻明（暗）纹对应薄膜厚度差： (3)条纹宽度（两相邻暗纹间距） θ L ek ek+1 ?e 4.条纹变化 条纹变密 白光入射出现彩条 空气劈尖充水条纹变密 应用1:测量微小直径，厚度 例1 在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，已知SiO2 的折射率n =1.46，用波长? =5893埃的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M处，Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 Si SiO2 O M 解：由暗纹条件 e = (2k+1)? /4n ?= 2ne = (2k+1）? /2 (k=0,1,2…) 知,第9条暗纹对应于k=8,代入上式得 = 1.72(?m) 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 应用2:检测工件平面的平整度 例2 利用空气劈尖的等厚干涉条纹可以检测工 件表面存在的极小的加工纹路， 在经过精密加工的工件表面上放一光学平面玻璃，使其间形成空气劈形膜，用单色光照射玻璃表面，并在显微镜下观察到干涉条纹， a b ?h b a ?h ek-1 ek 如图所示，试根据干涉条纹的弯曲方向，判断工件表面是凹的还是凸的；并证明凹凸深度可用下式求得 ： 解:如果工件表面是精确的平面,等厚干涉条纹应该是等距离的平行直条纹，现在观察到的干涉条纹弯向空气膜的左端。因此，可判断工件表面是下凹的，如图所示。由图中相似直角三角形可: 所以: a b ?h b a ?h ek-1 ek 所以: a b ?h b a ?h ek-1 ek 牛顿环干涉图样 显微镜 S L M半透半反镜 T 三、牛顿环 1.装置 平板玻璃上放置曲率半径很大的平凸透镜 2.明暗纹条件 单色平行光垂直入射 明 暗 3.明暗纹特点 以接触点为中心的明暗相间的同心圆环 中心 暗斑