微机电系统电子科技大学.ppt

微机电系统 第5章 微传感器 微传感器的基本概念 传感器的性能 MEMS与宏观传感器的比较 第一部分 机械量微传感器 压阻检测原理与特点 谐振检测原理与特点 一、压力传感器 1、电容效应压力微传感器 2、谐振效应压力微传感器 2、谐振效应压力微传感器 二、加速度传感器 1、谐振效应加速度微传感器 2、电阻效应加速度微传感器 3、0位平衡式硅电容效应加速度微传感器 三、硅谐振式微陀螺（MMG） 谐振式（MMG多采用）原理 MMG的关键技术问题 一种较为理想的结构 四、流动微传感器 应用 典型产品例 第二部分 非机械物理量微传感器 一、磁微传感器 1、霍尔器件 2、磁阻元件 2、磁阻元件 3、磁通门 3、磁通门 4、磁微传感器性能对比分析 4、磁微传感器性能对比分析 二、热微传感器 1、热敏电阻（RTD: resistive temperature detector） 2、热电偶 三、光微传感器 1、光电传感器 2、光纤传感器 3、光强传感器——光干涉传感器分类 第三部分 生物、化学成分微传感器 常用的结构形式 1、半导体气敏微传感器 原理 应用 工艺 工艺 结构 2、电化学微传感器 3、生化成分的声学微传感器 原理发展 模式对比 SAW气体传感器 SAW气体传感器 本章学习要求 本章重点难点 外光电效应——真空光电管、光电倍增管等 内光电效应——真空光