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SJ
中华人民共和国电子工业行业标准
SJ/T10274一91
掩模对准曝光机测试方法
1991-11-12发布 1992-01-01实施
中华人民共和国机械电子工业部 发布
中华人民共和国电子工业行业标准
掩模对准曝光机测试方法 S7/T10274-91
Testmethods叨maskLgnment
andexposuresystem
主题内容与适用范围
本标准规定了测试掩模对准曝光机(以下简称 “曝光机勺的一般要求和方法。
本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。
弓1用标准
GB 11481 掩模对准曝光机通用技术条件
GB 7237
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