压电陶瓷Z向偏摆平台.PDFVIP

压电陶瓷Z 向/偏摆平台 用于反射镜和光学元件的高动态三脚系统 S-325  光束偏转达10毫弧度  分辨率达50纳弧度  线性行程达30微米（用于运行时调整）  紧凑型三脚设计  亚微秒级响应时间  闭环版本可实现更高精度  用于直径长达25 毫米（1英寸）的反射 镜  零间隙，高精度柔性铰链导向系统  并联运动实现更高精度和动态 应用领域  图像处理/稳定  光学捕获  激光扫描/光束偏转  激光调谐  光学过滤器/开关  光学  激光束稳定 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 并联运动实现高动态多轴操作 在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动 态和精密的运动。 18.06.2018 规格 S-325.30L S-325.3SL S-325.3SD 单位 公差 主动轴 Z, θ , θ Z, θ , θ Z, θ , θ X Y X Y X Y 运动和定位 集成传感器 – 应变片传感器 应变片传感器 0至100 伏时Z向上的开环行程 30 30 30 微米 +20 % / -0 % 0至100 伏时的偏摆角，开环 5 5 5 毫弧度 +20 % / -0 % Z 向上的闭环行程 – 30 30 微米 θ 、θ 向上的闭环偏摆角 –