基于相位法的三维测量系统的相移误差分析.pdf

第４２卷　 第９期 　　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．９ 　 ２０１２年９月　　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ，２０１２ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１２）０９１０４００５ ·光电技术与系统· 基于相位法的三维测量系统的相移误差分析 吴禄慎，万露萍，李雯 （南昌大学机电工程学院，江西 南昌３３００３１） 摘　要：采用投影栅相位法进行三维测量时，光栅移动的精密控制是整个测量系统的基础。针 对相移误差，对硬件系统进行设计，通过步进电机细分控制实现更小、更平稳的相移误差；并对 传统的四步相位提取算法进行优化，在优化算法中，稳定的相移误差项可以作为中间变量，即 其大小随机变化不再对相位计算结果产生影响。实验结果表明：设计的硬件系统调试简单，步 进电机可以实现最小１／１２８细分；优化后的算法有效地抑制了相移误差对测量结果的影响，进 一步提高了表面微观形貌的测量精度和可靠性；从而使得测量系统的整体性能指标得到提升。 关键词：投影栅相位法；细分控制；相移误差；相位提取算法 中图分类号：ＴＮ２９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１２．０９．０１７ Ｐｈａｓｅｓｔｅｐｐｉｎｇｅｒｒｏｒａｎａｌｙｓｉｓｏｆ３Ｄｍｅａｓｕｒｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎｐｈａｓｅｍｅｔｈｏｄ ＷＵＬｕｓｈｅｎ，ＷＡＮＬｕｐｉｎｇ，ＬＩＹｕｗｅｎ （ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｃｈａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｃｈａｎｇ３３００３１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｐｒｅｃｉｓｅｃｏｎｔｒｏｌｏｆｇｒａｔｉｎｇｐｈａｓｅｓｔｅｐｐｉｎｇｉｓｔｈｅｆｏｕｎｄａｔｉｏｎｏｆｍｅａｓｕｒｉｎｇｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｂａｓｅｄｏｎｐｒｏｊｅｃｔｅｄ ｇｒａｔｉｎｇｐｈａｓｅｍｅｔｈｏｄ．Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｅｌｉｍｉｎａｔｅｔｈｅｐｈａｓｅｓｔｅｐｐｉｎｇｅｒｒｏｒ，ｔｈｅｈａｒｄｗａｒｅｓｙｓｔｅｍｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄｆｏｒｈｉｇｈｅｒｐｒｅｃｉ ｓｉｏｎｍｏｖｅｍｅｎｔｏｆｓｔｅｐｍｏｔｏｒ．Ａｎｉｍｐｒｏｖｅｄａｌｇｏｒｉｔｈｍｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｆｏｕｒｓｔｅｐｐｈａｓｅｅｘｔｒａｃｔｉｎｇ ａｌｇｏｒｉｔｈｍ．Ｕｓｉｎｇｔｈｅｎｅｗｓｙｓｔｅｍ，ｔｈｅｍｉｎｉｍａｌｓｅｇｍｅｎｔａｔｉｏｎｆｏｒｔｈｅｓｔｅｐｍｏｔｏｒｂｅｃｏｍｅｓ１／１２８．Ｔｈｅｉｍｐｒｏｖｅｄａｌｇｏｒｉｔｈｍ ｉｓｉｍｍｕｎｅｔｏｔｈｅｐｈａｓｅｓｔｅｐｐｉｎｇｅｒｒｏｒｓｉｎｃｅｔｈｅｓｔａｂｌｅｅｒｒｏｒｂｅｃｏｍｅｓｔｈｅｉｎｔｅｒｍｅｄｉａｔｅｖａｒｉａｂｌｅｔｈａｔｄｏｅｓｎｏｔｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｔｈｅｐｈａｓｅｒｅｓｕｌｔｓ．Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｉｎｄｉｃａｔｅｓ：ｔｈｅｉｍｐｒｏｖｅｄｈａｒｄｗａｒｅｓｙｓｔｅｍｉｓｅａｓｉｅｒｔｏｏｐｅｒａｔｅ；ｔｈｅｉｍｐｒｏｖｅｄａｌｇｏｒｉｔｈｍ ｒｅｓｔｒａｉｎｓｔｈｅｍｏｖｅｍｅｎｔｅｒｒｏｒａｎｄｔｈｅｎｅｎｈａｎｃｅｓｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙ，ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙａｎｄｔｈｅｓｙｓｔｅｍ′ｓｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐｒｏｊｅｃｔｅｄｇｒａｔｉｎｇｐｈａｓｅｍｅｔｈｏｄ；ｓｕｂｄｉｖｉｓｉｏｎｄｒｉｖｉｎｇ；ｐｈａｓｅｓｔｅｐｐｉｎｇｅｒｒｏｒ；ｐｈａｓｅｅｘｔｒａｃｔｉｎｇａｌｇｏｒｉｔｈｍ １　引　言 分别进行了硬件系统的设计和算法上的优化研究。 在众多的三维测量技术当中，