基于犘犃85犃高精度动态压电陶瓷驱动电源设计.PDF

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ４０ ４ Ｖｏｌ．４０Ｎｏ．４ 　 　 　 　 年 月 ２０１８ ８ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ａｕ．２０１８ ｇ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１８０４０５６４０４ 　　 基于犘犃８５犃的高精度动态压电陶瓷驱动电源设计 ， ， ， ， １２ １２ １２ １２ ３ 徐 辽 ，范青武 ，刘旭东 ，张 恒 ，张跃飞 　 　 （ 北京工业大学 信息学部，北京 ； 数字社区教育部工程研究中心，北京 ； １． １０００２４２． １０００２４ ３．北京工业大学 固体微结构与性能研究所，北京 １０００２４） 摘 要：压电陶瓷作为原子力显微镜系统中的执行器件，能够快速跟踪测量样品的形貌。为提高压电陶瓷驱 　　 　 动器的定位精度与响应速度，根据电压控制型驱动电源的原理，以ＰＡ８５Ａ高压运放为核心器件，设计了一种高精 度动态压电陶瓷驱动电源。分析了影响系统精度与动态性能的因素，采用相位补偿法，提高了系统的稳定性。实 验结果表明，该电源具有精度高，动态响应快，稳定性强的特点，能有效用于原子力显微镜系统中。 关键词：压电陶瓷；电压控制；高压运放；驱动电源；高精度动态 中图分类号： ； ； 文献标识码： ： ／ ＴＮ３８４ＴＭ２８２ＴＰ２９ Ａ 犇犗犐１０．１１９７７ ．ｉｓｓｎ．１００４２４７４．２０１８．０４．０２１ 　　 　　 ｊ 犇犲狊犻狀狅犳犎犻犺狉犲犮犻狊犻狅狀犇狀犪犿犻犮犘犣犜犇狉犻狏犻狀 犘狅狑犲狉犅犪狊犲犱狅狀犘犃８５犃 犵 犵 狆 狔 犵 ， ， ， ， １２ １２ １２ １２ ３ ， ， ， ， 犡犝犔犻犪狅 犉犃犖 犻狀狑狌 犔犐犝犡狌犱狅狀 犣犎犃犖犌犎犲狀 犣犎犃犖犌犢狌犲犳犲犻 犙 犵 犵 犵 （ ， ， ， ； １．ＦａｃｕｌｔｏｆＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｂｅｉｉｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｂｅｉｉｎ １０００２４Ｃｈｉｎａ ｙ ｇｙ ｊｇ ｙ ｇｙ ｊｇ