基于耿氏效应的太赫兹器件的研究进展.PDFVIP

第 11 卷 第 2 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．11，No．2 2013 年 4 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Apr．，2013 文章编号：2095-4980(2013)02-0314-06 基于耿氏效应的太赫兹器件的研究进展 * 白 阳，贾 锐 ，金 智，刘新宇，武德起 ( 中国科学院 微电子研究所，北京 100029) 摘 要：介绍基于耿氏效应的器件在太赫兹领域的研究，详细地阐述耿氏二级管的原理、工 艺流程、关键技术的解决和耿氏二极管频率和功率的提高等。重点介绍耿氏二极管的封装工艺和 耿氏二极管腔体的具体结构。系统论述通过制备腔体需要的关