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ICS31.020
I,97
备案号:2088-1998 }I J
中华人 民共和 国电子行业标准
SJ/T 11185一1998
蒸发镀膜设备通用规范
generalspecificationforvapourcoatingequipment
1998-03-11发布 1998-05-01实施
中华人民共和国电子工业部 发布
前 言
本标准是根据电子工业部一九九六年标准制修订计划的要求，对sJ1224-77(真空蒸发
设备通用技术条件》进行修订 。
本版本对原版标准的重要技术内容改变如下:
a) 标准名称略有改变;
b) 增加了设备的分类与型号命名、制冷系统要求、膜厚均匀性、可靠性等。
本标准由电子工业部标准化研究所归口。
本标准起草单位:成都南光实业
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