《SJT10714-1996-检查Ｘ射线光电子能谱仪工作特性的标准方法》.pdfVIP

L90 备案号:98一1997 中华人民共和 国电子行业标准 SJ/T10714一1996 eqvASTME902一88 检查X射线光电子能谱仪 工作特性的标准方法 Standardpracticeforcheckingtheoperation characteristicsofX-rayphotoelectronspectrometers 1996-07-22发布 1996-11-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 前 言 本标准等效采用美国材料试验协会标准ASTME902-89检查X射线光电子能谱仪工 作特性的标准方法》。 在将ASTME902-88转化为本标准时，删去了一些非技术性的文字部分。 本标准的附录A是提示的附录。 本标准由电子工业部标准化研究所提出并归口。 本标准起草单位:电子工业部第四十六研究所。 本标准主要起草人 :任殿胜 、严如岳、华庆恒、刘咏梅、段曙光。 中华 人民共和 国电子 行业 标准 检查X射线光电子能谱仪 SJ/T10714一 1l996 工作特性的标准方法 epvASTM E902-88 Standardpracticeforcheckingtheoperation characteristicsofX一rayphotoelectronspectrometers 范围 1.1本标准规定了X射线光电子能谱仪信背比、分辨力、短期电压稳定性、传输特性及能量 坐标线性等工作特性的检查过程。 1.2 本标准适用于能量通道为数字计数存储的谱仪。 1.3 本标准旨在对仪器制造厂商提出的校准步骤进行补充。不能作为不同仪器之间进行性 能比较的依据，只能作为某一谱仪工作特性的自治性检查。 1.4 使用本标准可能涉及有害的操作、设备及物质。但本标准没有说明所有相关的安全间 题。使用者在使用本标准前，应该制定适当的安全与保健措施，并决定本标准的应用范围。 2 特点及用途 2.1 本标准所确定的谱仪工作特性应在谱仪处于最佳工作状态时建立，因而，第5章中给出 的工作特性指标仅作为参考，用户应根据实际的谱仪情况决定取舍或变更。 2.2 使用本标准对谱仪作定期检查，并将检查结果与该仪器先前在同一工作参数下测得的数 据进行比较，如发现两者有明显的差别，则表明谱仪需要校准。 2.3 使用本标准检查工作特性时，仪器工作参数的设置应与仪器在日常分析时的典型工作参 数相同。本标准没有规定这些仪器工作参数的设置。由使用者自己决定，但不论何时使用本标 准，都应使用相同的参数，以使测得的结果能与先前的结界直接可比。 3 步骤 3.1 取一洁净的铜样品(99.996)，为了得到平整光滑的表面，最好用片状样品。样品面积应 大于谱仪的分析面积，分析面积由X射线束斑尺寸和分析器接收面积中的较小者确定。建议 用以下三种样品处理方法: a) 在连续搅拌或超声波振荡下，在 1M的HC1溶液中将样品腐蚀5min。然后用蒸馏水 洗净; b) 用金属抛光法清洁样品; c) 在氮气气氛中，用600#碳化硅研磨样品。在使用该方法时，要特别注意处理工艺的 重复性。 3.1.1 样品处理方法的选择，取决于样品尺寸、处理难易及所具备的实验室条件。 中华人民共和国电子工业部 1996-07-22批准 1996-11-01实施 一 1 一