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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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多晶薄膜屈服强度的一个模型!
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张建民 徐可为 张美荣
!）（陕西师范大学物理学与信息技术学院，西安 $!%% ）
）（西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安 $!%%’( ）
# ）（陕西师范大学图书馆，西安 $!%% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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从位错运动的应力功和应变能关系导出了附着在基体上并有钝化层薄膜的屈服强度公式 该式表明多晶薄膜
)
的屈服强度由两个影响因子（晶粒取向和位错类型）和三个强化因子（钝化层强化，基体强化和晶粒强化）确定 和
)
已报道的实验结果基本一致表明了该模型的合理性)
关键词：多晶薄膜，屈服强度
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主要方法有：单轴拉伸法 （
50/36/3. 7809/.8 7897:
［ ， ］ ［ ， ］
!+ ! !$ !4
/0;） ，鼓胀法（ ） ，纳米压入法
!, 引 言 5.;8 7897/0;
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