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EBSD样品制备工艺培训课件(ppt)
2008年EBSD显微分析高级应用培训;1.样品制备要求及问题;1.样品制备要求及问题;2008年EBSD显微分析高级应用培训 重庆大学;常 用 的 切 割 设 备;样品的切割和截面的获得;选择合适的切割砂轮片;样品的镶嵌;冷镶;平面磨削;精 磨;抛 光;抛光介质的选择;针对EBSD所做的最终抛光;机械抛光带来的试样表面的缺陷;试样制备时带来的损伤对EBSD标定的影响;可以在二次电子像及花样质量图中清晰的观察到表面划痕
在二次电子图像里面并不清楚的小的表面划痕在花样质量图里面非常清楚
因此需要选择合适的材料及工艺避免小的表面缺陷;表 面 缺 陷;样品制备常见问题;1.样品制备要求及问题;2008年EBSD显微分析高级应用培训 重庆大学;电解抛光;电解抛光的特点;不同阶段电解抛光样品表面的变化;电解抛光的利弊;2008年EBSD显微分析高级应用培训 重庆大学;2008年EBSD显微分析高级应用培训 重庆大??;1.样品制备要求及问题;钛合金试样的制备;钛合金基体
机械抛光
电解抛光;离子束轰击条件： 1mA ion beam at 6kV, 60deg. 旋转;15 分钟;表 面 质 量;离子束轰击过程中试样不旋转，使得试样表面出现凹坑;对一定程度的凹坑EBSD仍然可以标定;2008年EBSD显微分析高级应用培训 重庆大学;;HCP =红色
Cubic=蓝色;Cross Section Polisher (截面抛磨机);使用Ar+离子枪刻蚀;截面抛磨机与机械抛光的比较;Au;BSE image;CP加工特点;1.样品制备要求及问题;1. 试样粗磨： P240, 320, 600 1200 SiC 砂纸
2. 使用3微米的金刚石研磨膏在长毛绒布上机械抛光
3. 电解抛光:
电解液: 5% 高氯酸酒精溶液
电压: 40 V
温度: -20oC
时间: 1 - 2 分钟;镁合金的电解抛光;Al-Si合金的电解抛光;全欧拉角取向重构图; 电解抛光练习;热烈欢迎各位专家学者的到来
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