多晶硅还原炉调功器调功方案及应用经验探讨.docVIP

多晶硅还原炉调功器调功方案及应用经验探讨 韩健伟1，陈真生2，黄开均2 , 陈杰2 （1：焦作煤业（集团）有限责任公司，焦作，454002； 2：浙江中控技术股份有限公司，杭州，310053） 摘要：多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的基础原料，其发展前景光明。还原炉调功器是多晶硅生产的核心装置，对还原炉生产多晶硅的产品质量和单位能耗影响较大。本文阐述了多晶硅的生长原理和电气特性、调功器调功方案以及调功器在大型多晶硅生产装置中的应用经验。 关键字：还原炉调功器，调功方案，硅芯击穿，恒温加热 Study On The Power Adjustment Scheme And The Application Experience Of The Reduction Furnace Han Jianwei1, Chen Zhensheng2, Huang Kaijun2, Chen Jie2 (1. Jiaozuo Coal(Group)Co., Ltd., Jiaozuo, China 2. Zhejiang SUPCON Technology Co., Ltd, Hangzhou, China, Abstract: Polycrystalline silicon is the raw materials for the solar photovoltaic and electronic industries, the development of Polycrystalline silicon has bright future. Reduction furnace power regulator is the heart of the polysilicon production plant. The product quality and the energy consumption of the polycrystalline silicon production were depended on the reduction furnace. This paper describes the production technology and electrical properties of polycrystalline silicon, The power adjustment scheme, and the application experience of the using of the reduction furnace in large-scale polycrystalline silicon production plant. Key words: Reduction furnace power regulator, Power Adjustment Scheme, Silicon Core Breakdown, Constant Temperate Heating. 1、概述 多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅[1]。多晶硅是太阳能光伏产 业和电子工业的基础原料，在未来的50年里，还不可能有其他材料能够替代硅材料而成为光伏和电子产业主要原材料，其发展前景可期[2]。 多晶硅生产的核心装置是还原炉，对还原炉生产多晶硅的产品质量和单位能耗影响较大。多晶硅生产过程中，由于需要高温（1080℃左右）、持续时间长（从硅芯到成品硅棒一般需要5-10天时间）、采用电加热（能源利用效率较低），此过程能耗最大。因此还原炉调功器控制能够进一步优化，多晶硅生产则可进一步节能降耗。目前，国际上对中国多晶硅还原炉电气系统实行技术封锁，同类进口产品只是国际20世纪90年代初的水平。虽然国内研制的多晶硅还原炉调功器已经在实际生产中得到应用，由于起步较晚，国内的调功器技术跟国外先进技术相比 焦作煤业集团合晶科技有限公司1500吨/年多晶硅项目已于2011年3月份投产，通过现场实验和近半年的正常生产，得到了还原炉调功器控制过程较佳的操作参数。本文将从多晶硅的生长原理和电气特性、调功器调功方案以及调功器在大型多晶硅生产中的应用经验来探讨多晶硅还原炉调功器。 2、多晶硅生长原理和电气特性 还原炉调功器的主要功能是控制经还原反应产生的硅在硅芯上的生长过程，因此在介绍还原炉调功器控制工艺和控制原理前，需要理解多晶硅的生长原理及电气特性。 2.1多晶硅还原生长原理 改良西门子工艺用氢气作还原剂，在1080℃下还原三氯氢硅沉积多晶硅，是目前多晶硅材料生