应用再流动现象于自动组装之3D光学微机电结构设计与测试.PDF

應用再流動現象於自動組裝之 3D光學微機電結構設計與測試 Design and testing of the self-assembled 3D optical MEMS structure using material reflow 計劃編號： NSC-91-2218-E-006-018 執行期間： ， ， ， ， 91 8 1 – 92 7 31 主持人： 趙儒民 教授 研究人員：謝清霖，黃世民 國立成功大學系統暨船舶機電 工程研究所 摘要 device. After the releasing, a stand alone 本論文之目的在於BCB 光阻材料以不同 MEMS optical mirror is produced, and can be 的製程參數於再流動的結果加以探討之外， 並 tested for its functionality. We will concentrate 將其再流動之特性應用於三維光學鏡片的自 the design of the hinge with the help of resonant 動組裝過程 。本文採用SOI晶片來避免繁雜的 measurement in order to increase the reliability 面加工製程，並用 DRIE蝕刻機器來蝕刻出所要 of the PR hinge. After testing of the 3D 的結構圖案，並將光阻材料鋪在結構相關位置 來當作絞鍊，再經由結構分離與光阻再流動等 MEMS mirror, the feedback information will be 步驟後即完成三維光學鏡片自動組裝的製 used to modify previous design to give a better 作。此外，亦設計將三維光學鏡片與致動器整 micro mirror device for practical applications. 合，擬製作出可旋轉式的三維自動組裝之微光 Keywords 學鏡片。 研究目的是希望將光阻再流動的特性以不 MEMS, BCB hinge, SOI, self-assembled, 同參數， 如絞鍊的擺設位置、寬度、長度、及 reflow, 3D optical micro-mirror 長度等，所得到的結果來加以探討外，希望能 製作出可旋轉式三維自動組裝微光學鏡片對 研究動機與目的 微光 學系統應用方面有所貢獻。 而目前光學元件在表面微細加工法裡基 本上是屬於二維結構。為了完成三維立體結構 關鍵詞 則需要利用類似微絞鍊（ micro hinge ）的結 微機電， BCB絞鍊，SOI ，自動組裝，再流 構使平面構造旋轉出面外而成，在這些旋轉的 動， 3D光學微鏡片