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微细电解线切割加工模型分析与试验研究 王昆I ,朱荻2 (1.同济大学机械工程学院，上海201804； 2.南京航空航天人学机电学院，江苏南京210016) 摘要：微细电解线切割加工是-*种微细加工新方法。由于原理上阴极不会损耗，采用微米级直径的电极丝，可加工出微 米至数十微米尺度的复杂微结构件。基于电化学原理，讨论了微细电解线切割加工的机理，建立了加工的理论模型，得出了 微米尺度线电极进给速度的理论上限。通过电解线切割加匸试验，分析了各种加工参数对加工精度的彩响规律，并加工出缝 宽为20叩 左右的微型桨叶结构。试验结果表明，微细电解线切割加工技术能为特殊性能材料的微细加工提供冇效的新途径。 关键词：微细电解线切割加工；线电极；理论模型；试验研究 中图分类号：TG662 文献标识码：A THEORETICAL MODELAND EXPERIMENTS OF WIREELECTROCHEMICAL MICRO-MACHINING WANG Kun1, ZHU Di2 (1. College of Mechanical Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China; 2. College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China) Abstract: Wire electrochemical micro-machining (WEMM) is proposed as a new method of precision machining in this paper. Because of no electrode wear in this process the micrometer scale metal wire can be used as the wire electrode in WEMM, and the micrometer or tens micrometer structure can be fabricated. Base on the principle of electrochemical, the mechanism of wire electrochemical micro-machining is investigated, the theoretical model of the method is founded and the top limit of feed speed of the micron scale wire electrode is studied? Effects of process parameters on the machining accuracy in the electrochemical micro-machining have been studied theoretically and experimentally, and micro blades with the slit width of 20pm is machined? It is proved experimentally that WEMM can provide a new effective manufacturing method for machining high-performance materials. Key words: wire electrochemical micro-machining; Wire electrode; Theoretical model； Experimental research 微细加工技术是木批纪最活跃的科学研究方向之一。金属材料的微细加工有着广泛的发展需求。在某 些微器件屮，为了提高性能或者得到特定性能，需要釆用金属微部件代替硅结构來实现高反射率、高质量 密度、低电阻率、特定强度要求以及特殊形状的结构。现有的金属材料微加工技术还存在很大的局限性， 不能满足发展的需求，发展新的金属材料微细加工技术是非常重要和迫切的。 微细电解加工是基于电化学离子去除原理来微量溶解工件的技术，理论上可以达到纳米级的加工精度, 具有高效、低成木、与材料硬度无关等原理上的优势，在微细加工方而存在着巨大的发展潜力。当采用超 短脉冲电流时，微细电解加工间隙可缩小到微米级。国外对此方向的研究非常重视，发展很快，但也处于 起步阶段［7］。 收稿日期：2008-09-15 基金项目：国家自然科学基金资助项目(505751