Q_LBY 0002-2018连续式电弧法制备纳米粉及钝化设备.pdf

Q /LBY 辽宁北宇真空科技有限公司企业标准 Q/LBY 0002-2018 连续式电弧法制备纳米粉及钝化设备 Continuouselec-arcwayto makenanoscales Powder andAnti-oxidition equipment 2018-04-01发布 2018-04-01实施 辽宁北宇真空科技有限公司 发布 前 言 本标准依据： GB/T3164-93 《真空技术系统图用图形符号》 GB/T6070-95 《真空法兰》 GB/22360-2008 《真空泵安全要求》 JBIOP～10P2-91 《真空动密封型式及尺寸》 JB/T6P21-93 《罗茨真空泵机组》编写。 基本要求包括术语和定义、型式与基本参数、技术要求、设备检验及 其品质评价、质量承诺、标志、包装、运输与贮存。 本标准于发布之日实施 本标准由辽宁北宇真空科技有限公司提出。 本标准起草单位：辽宁北宇真空科技有限公司 本标准主要起草人：关秉羽。 1 辽宁北宇真空科技有限公司 电话：024传真：024 连续式电弧法制备纳米粉及钝化设备 1 范围 本标准规定了连续式电弧法制备纳米粉及钝化设备（以下简称设备）的型式与基本参数、 技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标准、包装、运输和贮存。 本标准适用于： ——电弧法蒸发设备； ——低真空设备； ——部分连续设备。 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其 随后所有的修改单 （不包括勘误的内容-用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各 方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不标注日期的引用文件，其最新版本适用于本 标准。 GB/T 191 包装储运图示标志 （GB/T 191-2008，ISO 780:1997，MOD） GB/T 13306 标牌 JB/T 7673 真空设备 型号编制方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标注。 3.1 电弧蒸发源 a evaporation source 提供纳米粉核心器件. 3.2 电弧法制备纳米粉 elec-arc way to make nano scales powder 在真空条件下，采用电弧放电,将金属材料,直接升华,产生纳米级粉沫。 4 型式与基本参数 4.1 结构型式 设备主要由抽气系统、真空室、镀膜系统、电控系统、水冷系统、气动系统、供气系统 等部分组成。 4.2 基本参数 设备的技术性能指标应满足表1的规定。 表 1 参数名称 参数数值 极限压力 （Pa） ≤5Pa 漏率 （Pa.L/s） ≤20Pa.L/s 4.3 型号 设备的型号应符合 JB/T7673 的规定，标准未涉及到的按汉语拼音首字母代表。 5 技术要求 5.1 设备正常工作条件 设备应满足正常工作条件，如另有规定，制造者与用户协商。 设备的正常工作条件是： ——环境温度：10℃～35℃； ——相对湿度：≤80%； 2 ——冷却水进水温度：≤25℃；