弹性研磨系统工艺参数及结构对研磨质量的影响机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

IIII IIII I I li l t l it II IIII III Y1 924703 A Thesis Submitted to Guangdong University of Technology for the Degree of Master of Engineering The Impact of Flexible Grinding System Technological Parameters And Structure on The Grinding Quality． Candidate：Wang Zheng Supervisor：PrOf．Fu Huinan May 2011 Mechanical ManufacturingAutomation Guangdong University of Technology Guangzhou，Guangdong，P R．China，51 0006 摘要摘 摘要 摘 要 金刚石因具有无与伦比的机械、化学、热学等优良特性，使其在刀具 领域具有十分重要的地位。尤其是近几年金刚石工业的飞速发展，使金刚 石原料的质量不断提高，价格不断下降，进一步促进了金刚石在刀具领域 的应用，特别是在精密、超精密加工领域的作用是无法替代的。但由于金 刚石本身具有高硬度和高脆性等独特性能，使得金刚石在常规的机械研磨 中获得有形状要求的高精度及粗糙度值极低的金刚石表面相当困难，因此 开展金刚石的精密研磨技术研究，具有良好的应用前景和实用价值。 首先，在总结其他学者或研究人员对单晶金刚石机械研磨技术研究的 基础上，以实验分析为手段，研究了金刚石弹性浮动研磨新技术中的系统 弹性、研磨盘端跳、研磨速度及研磨压力等工艺参数对金刚石表面的影响。 浮动的思想对金刚石进行研磨，其主要目的就是解决研磨过程中磨粒对工 件的冲击，使得金刚石去除主要以微小解理方式进行，达到均匀微小去除 量的目的，实验证明，当加工过程充分平稳后，合理的选择加工参数，其 金刚石加工表面十分光滑，呈现均匀、无明显加工特征，适合超精密研磨 加工。 在浮动研磨过程中，不断变化的冲击主要来自研磨盘的端跳和机床内 部及外部的振动。这些振动和冲击的干扰使得被研磨的金刚石刀具和研磨 盘之间产生多余的相对运动而使金刚石刀具无法达到所需的加工精度和表 面质量。然而弹性梁的刚度对系统的振动的响应影响很大，不同刚度的梁 在受到磨粒的冲击变形不一样，以及磨粒对梁的冲击方式不同，梁的振动 也会不同，本文为了消除振动和冲击对金刚石研磨表面质量的影响，做了 如下方面的工作： 1．首先在浮动研磨系统下，采用单因素的试验方法，研究在不同转速、不 同外载荷对弹性梁振动的影响和对表面质量的影响； 2．研究了不同刚度的梁对表面质量的影响； 3．对研磨盘的端跳产生原因进行了分析并进行了装置改进，提高了系统的 广东工业大学硕士学位论文稳定性； 广东工业大学硕士学位论文 稳定性； 4．研究了梁在受到横向冲击与纵向冲击时对金刚石研磨表面质量的影响。 关键词：弹性浮动 金刚石 冲击 端跳 振动响应 ABSTRACTAB ABSTRACT AB STRACT With the incomparable advantages in the mechanical、chemical、thermal properties，diamond has been playing an important role in tool field． Especially in recent years，with the rapid development of diamond industry, diamond raw materials quality is improving and the price is going down，these further promote the application of diamond in the tool field．Diamond play a irreplaceable role in precision，ultra precision processing field．However， because the diamond itself has some unique properties such as high hardness and high brittleness，making it very difficult to obtain high-precision and low roughness value of the diamond surface required shape in conventional m