电子显微与扫描探针相关技术(1).ppt

若L层的电子落到k空位上，释放的特征X射线称作kα; 若M → K，释放的特征X射线称为 kβ. Kβ比Kα能量高，波长短。 当 L 层电子被高能量的入射电子激发后，则会产生 L系特征X射线。 如 Lα (M → L ),Lβ (N → L )等。 电子探针分析中，主要用到k系的kα及M系的Mα等。 (2) 连续X射线 连续X射线或称为白色X射线，它是由电子枪发射的高速电子束轰击样品时突然改变速率产生的。 电子束轰击样品，其中有些电子在一次碰撞中即被制止，从而立刻释放其所有的能量。(能量大) 而大多数电子则会和样品的原子碰撞多次，逐次丧失部分动能，直到能量耗尽为止。 (能量小) 所以当大量具有高速运动的电子束撞击到样品上时，产生的电磁脉冲可以设想为具有一系列连续波长的电磁波总和。 将这种电磁脉冲分解为X射线波长，这些波长就具有连续分布的形式。 另外，能量高的背散射电子也会碰撞样品室内壁产生一些连续的X射线。 连续X射线与特征X射线产生的原理不同，在电子探针的定量分析中，连续X射线造成的背景是应该扣除的。 (3) X荧光射线 高能量的电子束轰击样品会产生特征X射线和连续X射线。在特征X射线从样品中发射出来的过程中，有一部分特征X射线会激发另一些元素的内层电子而产生次级特征X射线。 这种由特征X射线激发出来的二次特征X射线叫做特征X荧光射线。 从样品中发射出来的连续X射线也会激发一些二级X射线，叫做连续X荧光射线。 产生过程见图19.14。 电子探针定量分析过程中必须考虑到荧光X射线效应的影响，进行荧光校正。 XPS 俄歇谱 X-射线荧光分析 谢 谢！ * 3 一般用消像散器来消除像散，像散严重时则需要清洗电镜，甚至更换极靴。 电磁透镜的像散 像散散焦斑半径可以表示为： rA=(ΔfAα)/2 ΔfA: 电透镜磁场非旋转对称性产生的焦差， α:为透镜的半孔径角。 （4）衍射像差 衍射像差: 是一种波动光学像差，增大电磁透镜的半孔径角就可以减小这种像差， 但会引起球差的增大。只有综合两方面选择最佳孔径角。 1.3.2 电磁透镜的分辨本领 分辨本领：取决于透镜的像差和衍射效应所产生的散焦斑(或称埃利斑)尺寸的大小。 光学显微镜在最佳情况下，分辨本领可达到照明光光波长的二分之一。 电子束波长比可见光波长小五个数量级。 如果电磁透镜像差（特别是球差）能得到较好的矫正。 那么它的分辨本领理应达到照明波的半波长. 0.00370/2（按加速电压100kv计算） 0.002nm极限值. 至今还没有找到一种矫正球差的有效的办法，故采用尽可能小的孔径角成像。 但随着孔径角的减小，虽然球差散焦斑半径显著地减小了，但衍射引起的埃利斑半径却增大了，制造具有大孔径角、低球差、高分辨率的电磁透镜有一定的难度。 利用小孔径角的电磁透镜成像，只能达到0.14nm左右的晶格分辨率。 比极限值0.002nm还差100倍左右。 1.3.3 电磁透镜的景深和焦长 由于电子显微镜利用小孔径角成像，所以电磁透镜具有一些重要的特点，即景深很大，焦长很长。 （1）景深 样品都具有一定的厚度，当电磁透镜的焦距，像距一定时，只有样品表面与透镜的理想物平面相重合时，透镜像平面上才获得理想图像。 而偏离理想平面的物点都在一定程度上失焦，它们在像平面上将产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。 因此，透镜的景深（Df）可以定义为：透镜的物平面允许的轴向偏差值。(不影响分辨本领前提下) 它与电磁透镜分辨本领Δr0，孔径半角α之间的关系为： Df = 2Δr0/tgα≈ 2Δr0/α 如果失焦圆斑尺寸小于由像差和衍射效应造成的散焦斑，那么对透镜像的分辨本领并不产生影响，反之失焦起主要作用。 从上式可以看出，电磁透镜孔径半角α越小，景深越大。 一般的磁透镜α= 10-2-10-3弧度， Df = (200-2000) Δr0. 若Δr0 = 1nm, Df = 200 - 2000nm, 这样可以得到清晰的样品图像。 (2)焦长 当透镜焦距和物距一定时，像平面在一定轴向距离内移动也会引起失焦。 如果失焦尺寸小于透镜像差和衍射引起的散焦斑大小，那么这种轴向移动对分辨率不会产生影响。 反之则由失焦斑尺寸决定分辨率。 这种像平面允许的轴向差定义为透镜的焦长（DL） DL与分辨本领Δr0及像点所张的孔径半角β之间的关系为： DL = 2(Δr0M)/tgβ≈2(Δr0M)/β 因为β=α/M，所以 DL = 2 (Δr0/α) M2（M:为透镜的放