犝犔犜犚犃犘犔犝犁场发射扫描电子显微镜的日常维护.pdf

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2019-03-02 发布于天津
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犝犔犜犚犃犘犔犝犛场发射扫描电子显微镜的日常维护及故障排除曹艳芬，宋庆军，卢慧粉，孙秋香（济宁半导体及显示产品质量监督检验中心，济宁２７２０００）以德国蔡司扫描电子显微镜为例，从环境条件、光学系统、真空系统及摘要：ＵＬＴＲＡＰＬＵＳ　附件设施个方面总结分析了场发射扫描电子显微镜的日常维护保养方法和故障排除方法。以期４解决扫描电子显微镜的日常维护和常见的故障排除问题，降低电镜维护保养成本，延长使用寿命。扫描电子显微镜；日常维护；故障排除关键词：中图分类号：＋文献标志码：文章编号：（）ＴＧ１１５．２１５．３Ａ１００１４０１２２０１５０１００４９０３　　　　　　犇犪犻犾犕犪犻狀狋犲狀犪狀犮犲犪狀犱犆狅犿犿狅狀犜狉狅狌犫犾犲狊犺狅狅狋犻狀犕犲狋犺狅犱狊狅犳狔犵犝犔犜犚犃犘犔犝犛犉犻犲犾犱犈犿犻狊狊犻狅狀犛犮犪狀狀犻狀犈犾犲犮狋狉狅狀犕犻犮狉狅狊犮狅犲犵狆，，，犆犃犗犢犪狀犳犲狀犛犗犖犌犻狀狌狀犔犝犎狌犻犳犲狀犛犝犖犻狌狓犻犪狀犙犵犼犙犵（，，）ＮａｔｉｏｎａｌＣｅｎｔｅｒｆｏｒＱｕａｌｉｔＳｕｅｒｖｉｓｉｏｎａｎｄＩｎｓｅｃｔｉｏｎｏｆＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ＆ＤｉｓｌａＰｒｏｄｕｃｔｓＪｉｎｉｎ２７２０００Ｃｈｉｎａｙｐｐｐｙｇ：犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｈｅｄａｉｌｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅａｎｄｃｏｍｍｏｎｔｒｏｕｂｌｅｓｈｏｏｔｉｎｍｅｔｈｏｄｓｏｆｓｃａｎｎｉｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｅｙｇｇｐ（），，ＳＥＭｗｅｒｅｓｕｍｍａｒｉｚｅｄｆｒｏｍｆｏｕｒａｓｅｃｔｓｉｎｃｌｕｄｉｎｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔｃｏｎｄｉｔｉｏｎｏｔｉｃａｌｓｓｔｅｍｖａｃｕｕｍｓｓｔｅｍａｎｄｐｇｐｙｙ，ａｃｃｅｓｓｏｒｆａｃｉｌｉｔｉｅｓｏｎｔｈｅｂａｓｉｓｏｆＺｅｉｓｓＵＬＴＲＡＰＬＵＳｆｉｅｌｄｅｍｉｓｓｉｏｎｓｃａｎｎｉｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｅ．Ｔｈｅｍａｉｎａｉｍｙｇｐ，ｗａｓｔｏｓｏｌｖｅｔｈｅｄａｉｌｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅａｎｄｃｏｍｍｏｎｔｒｏｕｂｌｅｓｈｏｏｔｉｎｒｏｂｌｅｍｓａｎｄｔｈｅｎｒｅｄｕｃｅｔｈｅｍａｉｎｔｅｎ