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2019-02-04 发布于天津
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薄膜及其性能研究进展

第卷第期无机材料学报 , 年月 , 文章编号一一一薄膜及其性能研究进展黄众球 , 刘梅冬 , 曾亦可 , 刘少波华中科技大学电子科学与技术系, 武汉、、、 , 、摘要薄膜是一种具有优良的压电光电气敏压敏等性质的材料在透明导体发光元、太阳池口料、光导器、单色场发显示器、压电转换器、表面件能电窗材波射材料高频声波元件、微传感器以及低压压敏电阻器等方面具有广泛的用途薄膜的制备方法多样 , 各具优缺点, 而薄膜性质的差异则取决于不同的掺杂组分 , 并与制备工艺紧密相关本文综述了薄膜的制备及性质特征 , 并对其发展趋势及前景进行了探讨关扭词薄膜 , 制备 , 性质 , 发展前景中图分类号文献标识码引言薄膜是一种具有广泛用途的材料 , 其性质随掺杂组分和制备条件的不同而表现出很大的差异性目前对薄膜的研究主要集中在透明导电性、压电性、光电性、气敏性、