环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜.pdf

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 28 6 Vol.28 No.6 年 月 , 2016 6 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jun. 2016 环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜* 1 1 2 2 马文英 , 魏耀华 , 汪为民 , 王 强 ( , ; 1.成都信息工程大学 通信工程学院 成都 610225 , ) 2.中国科学院 光电技术研究所 微细加工光学技术国家重点实验室 成都 610209 : ( ) 、 、 。 摘 要 微光机电系统 微镜在激光显示 光束扫描 自适应光学等领域都有重要应用 现有 MOEMS , , , 的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型 难以克服其吸合效应造成的各种问题 同时 方形的驱动器难以与 , 。 , 圆形的镜面形成良好匹配 填充比较低 提出了一种环形静电排斥驱动器的 MOEMS微镜 该静电排斥驱动 , , 。 , 器以环形排列 并围绕在镜面的周围 达到了与圆形镜面的良好匹配 所设计的微镜口径为 204 m 并利用 μ 。 , , 表面工艺进行加工 模拟仿真及实验测试结果显示 该微镜具有 的最大旋转角 的 PolMUMPS 0.62° 494 s y μ , 。 响应时间和 1.191kHz的工作带宽 适用于一般光束扫描等的应用需求 : ; ; ; ; ; 关键词 微光机电系统 微镜 表面工艺 静电排斥 环形驱动器 旋转角 中图分类号: 文献标志码: : / TP211.6 A doi10.11884HPLPB201628.064106