超晶格薄膜热传导的分子动力学模拟.pdf

第 卷第 期 ３３ ４ 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３３Ｎｏ４ 年 月 ２００３ ７ （ ） Ｊｕｌｙ２００３ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ  超晶格薄膜热传导的分子动力学模拟 ， １ １ １２ １ 吴勇华 杨决宽 陈云飞 庄 苹 １ （东南大学机械工程系，南京 ２１００９６） ２ （东南大学ＭＥＭＳ教育部重点实验室，南京 ２１００９６） 摘要：采用非平衡态分子动力学方法模拟了超晶格薄膜的热传导性能，并对其主要影响因素作 了分析 模拟结果显示，周期长度固定的超晶格薄膜，界面热阻在总热阻中的比例和导热系数同 ． 周期数无关；当超晶格薄膜的膜厚不变时，导热系数将随着周期长度的增大而增大，但由于超晶 格薄膜晶格常数的不匹配，使其内部发生明显的几何形变，这种变化关系也愈加复杂，同时周期 长度的增加，平均界面热阻也随着增大，揭示了界面热阻不仅取决于界面层的物理条件，而且也 与构成的介质内部形变有着重要关系． 关键词：分子动力学；超晶格；薄膜；导热系数；几何形变；界面热阻 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） Ｏ４８４．４ Ａ １００１－０５０５２００３０４０４６８０３ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒｄｙｎａｍｉｃｓｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｆｓｕｐｅｒｌａｔｔｉｃｅｔｈｅｒｍａｌｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｉｅｓ ， １ １ １２ １ ＷｕＹｏｎｇｈｕａ ＹａｎｇＪｕｅｋｕａｎ ＣｈｅｎＹｕｎｆｅｉ ＺｈｕａｎｇＰｉｎｇ １ （ ， ， ， ） ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＮａｎｊｉｎｇ２１００９６ Ｃｈｉｎａ ２ （ ， ， ， ） ＮａｔｉｏｎａｌＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭＥＭＳ ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＮａｎｊｉｎｇ２１００９６ Ｃｈｉｎａ ： Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｓｕｐｅｒｌａｔｔｉｃｅｓａｒｅｓｉｍｕｌａｔｅｄｂｙｎｏｎｅｑｕｉｌｉｂｒｉｕｍｍｏｌｅｃｕｌａｒｄｙｎａｍｉｃｓ （ ） ， ＮＥＭＤ ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄｖａｒｉｏｕｓｆａｃｔｏｒｓｔｈａｔａｆｆｅｃｔｔｈｅｈｅａｔｔｒａｎｓｆｅｒｉｎｓｕｐｅｒｌａｔｔｉｃｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓａｒｅａｎａｌｙｚｅｄ ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｒｅｓｕｌｔｓ．Ｉｔｉｓｆｏｕｎｄｔｈａｔｔｈｅｔｈｅｒ