钢表面双辉渗镀TiC陶瓷.pdf

第３７卷第６期 东南大学学报（自然科学版） Ｖｏｌ３７Ｎｏ６ 　 ２００７年１１月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） 　 Ｎｏｖ．２００７ 　　　　　　 ２０钢表面双辉渗镀ＴｉＣ陶瓷 李莉平　 姚正军　 朱晓林　 缪　强　 张平则　徐　重 （南京航空航天大学材料科学与技术学院，南京２１１１００） 摘要：设计了一种独特的源极结构，运用双层辉光渗金属技术在２０钢表面实现了Ｔｉ，Ｃ二元同 时共渗并获得表面渗镀层．对渗镀层进行了微观组织、形貌、成分、物相和硬度的检测与分析．分 析结果表明：渗镀层厚约２１ ｍ，表面呈颗粒状分布，主要由ＴｉＣ陶瓷相构成，其结构致密，与基 μ 体结合良好，结合力为４２Ｎ；源极钛靶与工件的极间距对渗镀层厚度及表面硬度值的影响较大， 极间距在１２～１６ｍｍ时渗镀效果佳，该条件下所形成的渗镀层表面硬度较基体提高了１０倍以 上． 关键词：双辉；２０钢；陶瓷；ＴｉＣ；渗镀 中图分类号：ＴＧ１７４４４５；ＴＧ１５６９５　文献标识码：Ａ　文章编号：１００１－０５０５（２００７）０６０９８００５ ＴｉＣｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎａｎｄｄｅｐｏｓｉｔｉｎｇｏｎ２０ｓｔｅｅｌ ｓｕｒｆａｃｅｂｙｄｏｕｂｌｅｇｌｏｗｐｌａｓｍａａｌｌｏｙｉｎｇ ＬｉＬｉｐｉｎｇ　 ＹａｏＺｈｅｎｇｊｕｎ　ＺｈｕＸｉａｏｌｉｎ　 ＭｉｕＱｉａｎｇ　 ＺｈａｎｇＰｉｎｇｚｅ　 ＸｕＺｈｏｎｇ （ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓａｎｄＡｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１１１００，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｓｐｅｃｉａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｓｏｕｒｃｅｗａｓｄｅｓｉｇｎｅｄ，ａｎｄｔｉｔａｎｉｕｍａｎｄｃａｒｂｏｎｃａｎｂｅａｌｌｏｙｅｄｏｎｔｈｅ ｓｕｒｆａｃｅｏｆ２０ｓｔｅｅｌｂｙｄｏｕｂｌｅｇｌｏｗｓｕｒｆａｃｅａｌｌｏｙｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｔｈｕｓａｓｕｒｆａｃｅｃｅｒｍｅｔｌａｙｅｒｉｓｄｅｖｅｌ ｏｐｅｄ．Ｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆａｌｌｏｙｉｎｇｌａｙｅｒｉｓａｂｏｕｔ２１ ｍ，ｗｈｉｃｈｉｓｍａｉｎｌｙ μ ｃｏｍｐｏｓｅｄｏｆＴｉＣｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅｓｆｏｒｍｉｎｇａｄｅｎｓｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ｔｈｅａｄｈｅｓｉｖｅｎｅｓｓｂｅｔｗｅｅｎｃｏａｔｉｎｇａｎｄｓｕｂ ｓｔｒａｔｅｉｓｆｉｎｅｗｉｔｈａｎａｄｈｅｓｉｏｎｏｆ４２Ｎ．Ｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆｃｏａｔｉｎｇｉｓｇｒｅａｔｌｙａｆｆｅｃｔｅｄｂｙｔｈｅｄｉｓｔａｎｃｅｂｅ ｔｗｅｅｎｓｏｕｒｃｅａｎｄｓｕｂｓｔｒａｔｅ．Ａｇｏｏｄｑｕａｌｉｔｙｃａｎｂｅａｃｈｉｅｖｅｄｗｉｔｈａｄｉｓｔａｎｃｅｏｆ１２－１６ｍｍ．Ｕｎｄｅｒ ｔｈｉｓｃｏｎｄｉｔｉｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｈａｒｄｎｅｓｓｉｓ１０ｔｉｍｅｓｈｉｇｈｅｒｔｈａｎｔｈｅｓｕｂｓｔｒａｔｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｄｏｕｂｌｅｇｌｏｗ；２０ｓｔｅｅｌ；ｃｅｒｍｅｔ；ＴｉＣ； ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎａｎｄｄｅｐｏｓｉｔｉｎｇ 　ＴｉＣ陶瓷具有耐磨、耐腐蚀、强度高、熔点高、化 积和扩散形成具有特殊物理化学性能的合金 学稳定性强和热稳定性好等一系列优点，被广泛用 层［５６］．双辉技术打破了传统金属表面离子渗技术 于材料表面特别是刀具表面来提高工件的表面性 仅限于渗入非金属元素和低熔点金属的限制，使高 能［１３］．制备ＴｉＣ陶瓷层常用的方法有化学气相沉 熔点金属元素也可被渗到金属表面形成合金 积、物理气相沉积、自蔓延燃烧等，这些方法一定程