原创力文档第卷第期计量学报年月基于偏振激光干涉技术的波长计许素安钟绍俊孙坚陈乐中国计量学院机电工程学院浙江杭州法国凡尔赛大学实验室法国凡尔赛摘要提出了一种基于偏振激光干涉技术的波长计该波长计能在微米行程上实现的测量精度位移行程的缩减有效地减小了环境温度波长漂移空气折射率对测量精度的影响给出了两种未知激光源和的波长测量值及不确定度值同时还给出了该波长计与商用波长计的比对结果关键词计量学波长计偏振干涉精度位移行程比对中图分类号文献标识码文章编号量级的精度对于波长来说运动部引言件的行程应大约在这样测量系统易受机
第３４卷 第３期 计 量 学 报 Ｖｏｌ．３４，№３
２０１３年 ５月 ＡＣＴＡ ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ Ｍａｙ，２０１３
ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１３．０３．０４
基于偏振激光干涉技术的波长计
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