原创力文档浙江理工大学学报第卷第期年月文章编号基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量系统的优化设计刘燕娜严利平杨涛钟挺陈本永浙江理工大学纳米测量技术实验室杭州摘要描述了基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量方法及其系统通过分析测量平面镜顺时针和逆时针转动时光路结构的几何关系确定了该系统实施纳米位移测量应满足的条件重点讨论了角锥棱镜固定时测量平面镜波片和角锥棱镜三者之间的位置关系实现了基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量系统的优化设计得出了位移测量范围为时允许被测对象转动范围最大的系统参数为该系统的研制奠定了技
浙江理工大学学报 第 卷 第 期 年 月
文章编号
基于法拉第旋光效应的激光外差干涉
测量系统的优化设计
刘燕娜严利平杨 涛钟 挺陈本永
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