光电功能薄膜技术（研讨）1序言材料系.pptVIP

课程名称：光电功能薄膜技术（研讨） 第1-13周：授课、研讨 考核方式：出勤、实验、考试 时间安排： 1-16周 周四（6-7） 教七-10A 第14、15周：实验、答疑 第16周：考试 薄膜有时与类似的词汇“涂层” （coating）、“层”（layer）、“箔”（foil）等有相同的意义，但有时又有些差别。 有关“薄膜（thin film）”的定义 ① two-dimension materials ② thin 多“薄”的膜才算薄膜？（视功能及其应用领域而定） ③ film = layer of material on a substrate 薄膜可以有气体薄膜、液体薄膜（液晶） ，但研究最多、应用最广的是固体薄膜（Thin Solid Film） 。 薄膜的例子 广泛应用在日常生活、生产和科学研究中 日常生活 生产 科学研究 刀具表面氮化物、氧化物、碳化物镀膜 薄膜技术发展的历史 3000多年前，中国古代在陶瓷中已开始采用釉涂层。 19世纪初，发现辉光放电过程可沉积固体薄膜。 20世纪后，电解法、化学反应法和真空蒸镀法等薄膜制备方法相继问世，薄膜技术迅速发展。光学薄膜最先得到研究和应用，成功地制备了各种增透膜、高反膜、滤光膜、分光膜等光学薄膜，在光学仪器、太阳电池、建筑玻璃等领域得到广泛的应用。20世纪50年代以后，微电子技术的进步极大地推动了薄膜技术的进步。在现代的集成电路制作过程中，薄膜沉积和刻蚀是必不可少的薄膜工艺。 为什么需要薄膜 1、对基板的性能进行改良 2、对基板的性能进行改性 金刚石薄膜、防腐层、半导体单晶片外延层 3、在基板上实现新的化学、光学和电学等性能，或者 获得新的材料 疏水/亲水性(汽轮机叶片、眼镜) 反射/透射/偏振镜片 石墨烯、半导体超晶格 薄膜技术作为材料制备的有效手段，可以将各种不同材料灵活地复合在一起，构成具有优异特性的复杂材料体系 现代科学技术的发展，特别是微电子技术的发展，过去需要众多器件组合才能实现的功能，现在仅仅需要少数几个器件或一块集成电路板就可以完成。薄膜技术正是实现器件和系统微型化的最有效的技术手段。 器件的微小型化不仅可以保持器件原有的功能并使之更加强化，而且随着器件的尺寸减小并接近了电子或其他粒子量子化运动的微观尺度，薄膜材料或其器件将显示出许多全新的物理现象。薄膜技术作为器件微型化的关键技术，是制备这类具有新型功能器件的有效手段。 4、功能性结构的集成和微小型化 薄膜的种类 薄膜的分类方法有多种： 材料种类、应用领域、制备方法等 按化学组成分为： 无机膜、有机膜、复合膜； 按晶体形态分为： 单晶膜、多晶膜、微晶膜、 纳米晶膜、超晶格 材料种类 应用领域 1、光学薄膜 减反射膜 例如照相机、幻灯机、投影仪、电影放映机、望远镜、瞄准镜以及各种光学仪器透镜和棱镜上所镀的单层MgF2薄膜和双层或多层（SiO2、ZrO2、Al2O3、TiO2等）薄膜组成的宽带减反射膜。 反射膜 例如用于民用镜和太阳灶中抛物面太阳能接收器的镀铝膜；用于大型天文仪器和精密光学仪器中的镀膜反射镜；用于各类激光器的高反射率膜（反射率可达99%以上）等等。 偏振片、滤色片、分束片等 2、电学薄膜 ①半导体器件与集成电路中使用的导电材料与介质薄膜材料：Al、Cr、Pt、Au、多晶硅、硅化物、SiO2、Si3N4、Al2O3等的薄膜。 ②超导薄膜：特别是近年来国外普遍重视的高温超导薄膜，例如YBaCuO系稀土元素氧化物超导薄膜以及BiSrCaCuO系和TlBaCuO系非稀土元素氧化物超导薄膜。 ③薄膜太阳能电池：特别是非晶硅、CuInSe2和CdSe薄膜太阳电池。 3、磁学薄膜：磁记录介质 德国科学家Grunberg小组有一重要的发现，就是在Fe/Cr/Fe三层膜中观察到两个铁层之间通过铬层产生耦合。法国科学家Fert小组在[Fe/Cr]周期性多层膜中，观察到当施加外磁场时，其电阻下降，变化率高达50％。因此称之为巨磁电阻效应(giant? magnetoresistance)。他们的发现极大地提高了电脑硬盘的数据存储量。 4、机械薄膜： （硬质膜、耐蚀膜、润滑膜） ①硬质膜 用于工具、模具、量具、刀具表面的TiN、TiC、TiB2、(Ti,?Al)N、Ti(C,?N)等硬质膜，以及金刚石薄膜、C3N4薄膜和c-BN薄膜。 ②耐蚀膜 用于化工容器表面耐化学腐蚀的非晶镍膜和非晶与微晶不锈钢膜；用于涡轮发动机叶片表面抗热腐蚀的NiCrAlY膜等。 ③润滑膜 使用于真空、高温、低温、辐射等特殊场合的MoS2、MoS2-Au、MoS2–Ni等固体润滑膜和Au、Ag、Pb等软金属膜。 按制备方法分类 原始膜料 固态薄膜 气态 固态 液态 材料 应用领域 制备方