材料特性表征学习资料：第3节电子光学基础.pptVIP

电磁波谱：电磁辐射按波长顺序排列。 γ射线→ X 射线→紫外光→可见光→红外光→微波→无线电波 利用紫外线　　　强烈地吸收 X射线　　　　　没有办法使其聚焦 1.4.1 电子在磁场中的运动 1.4.1 电子在磁场中的运动 1.4.1 电子在磁场中的运动 1.4.1 电子在磁场中的运动 1.4.1 电子在磁场中的运动 1.4.1 电子在磁场中的运动 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 电磁透镜的像差分成两类 第一是因为透镜磁场几何上的缺陷造成的，叫做几何像差，包括球面像差、像散和像畸变。 第二是由于电子波长或者能量非单一性而引起的，与多色光相似，叫做色差。 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 结果： 物面上一点散射出电子束不一定会聚在一点。 物面上个点并不按比例成像于同一平面。 在电磁透镜中，球差对分辨率的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正过来。而其他像差在设计和制造时，采取适当的措施是可以消除的 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。远轴的电子通过透镜后折射得比近轴电子要厉害得多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个漫散圆斑。 球差是电子显微镜最主要的像差之一，决定了显微镜的分辨本领。 球差 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 还原到物平面，则 半径为 为孔径角，透镜分辨本领随其差。 为球差系数，最佳值是0.3 mm 。 孔径角降低，可以提高透镜分辨率本领 球差 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 色差是指由于电子的能量不同，从而波长不一造成的。 电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面。 色差 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 是透镜的色差系数，大致等于其焦距， 是电子能量的变化率。随磁激电流的增大而减少. 成像电子束的变化率 色差 影响因素 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 引起电子束能量变化的主要有两个原因： 一是电子的加速电压不稳定； 二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 色差 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 解决方法 使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。 色差 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 像散：像散是由透镜磁场的非旋转对称而引起。 如果电磁透镜在制造过程中已经存在固有的像散，则可以通过引入一个强度和方位都可以调节的矫正磁场来进行补偿，这个能产生矫正磁场的装置称为消像散器。 1.5 电磁透镜的像差和理论分辨本领 1.3.1 电子在静电场中的运动 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 电场对电子的折射 1.3.1 电子在静电场中的运动 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 电场对电子的折射 1.3.1 电子在静电场中的运动 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 电场对电子的折射 1.3.1 电子在静电场中的运动 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 电场对电子的折射 当电子由低电位区进入高电位区时，折射角小于入射角，即电子轨迹趋向于法线，反之，相反。 1.3.1 电子在静电场中的运动 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 电场对电子的折射 介质对光的折射 说明电场中的等电位面是对电子折射率相同的表面，与光学系统中两介质界面起折射作用相同。 1.3.2 静电透镜　 定义: 把能使电子波折射聚焦的具有旋转对称等电位曲面簇的电极装置叫做静电透镜。 静电透镜与一定形状的光学介质界面 （如玻璃凸透镜的旋转对称弯曲折射界面）可以使光线聚焦成像相似，一定形状的等电位曲面族也可使电子束聚焦成像。 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 1.3.2 静电透镜　 静电透镜有二极式和三极式，他们分别由两个或三个具有同轴圆孔的电极（膜片或圆筒） 组成。 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 静电透镜的局限性： 早期的电子显微镜中使用静电透镜，由于静电透镜需要很强的电场，往往在镜筒内导致击穿和弧光放电，尤其是在低真空度情况下更为严重。因此电场强度不能太高，静电透镜焦距较长，不能很好的矫正球差。 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 1.3.2 静电透镜　 静电透镜的应用： 在现在电子显微镜中，除了在电子枪中使电子束会聚成形，已不再使用静电透镜而改用磁透镜。 1.3 电子在静电场中的运动和静电透镜 1.3.2 静电透镜　 第一节 电子光学基础 1.1 光学显微镜的局限性 1.2 电子的波性以及波长