不可见脉冲激光的聚焦系统-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 棻棸 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棻棸 暋 暋 暋 斚斻旚棶棽棸棻椃 文章编号 棬 棭增灢棸棸棻棽灢棸椄 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃 不可见脉冲激光的聚焦系统 灣 棳 棳 傅 星 李纪楷 齐 慧 暋 暋 棬 棳 棭 天津大学精密仪器与光电子工程学院 天津 棾棸棸棸椃棽 椇 棳 棳 摘要 为了解决不可见脉冲激光加工系统中的位置定位与聚焦问题 介绍了一种实用的激光加工系统结构 并提出了基 暎 棳 于该系统结构的适用于不可见脉冲激光的位置定位与自动聚焦方法 首先 斆斆斈采集不可见激光的一个脉冲加工样品 暎 棳 棳 棳 表面的瞬间的图像 接着 对该图像通过合适的阈值进行二值化处理 提取图像中的亮点区域 再通过灰度重心法得到 棳 暎 棳 棳 该亮点区域的几何中心的亚像素坐标值 这一坐标即为激光的焦点位置 然后 分析多个时域的图像清晰度评价算子 棳 暎 棳 并对图像的各个分量进行研究 得到了由 斢旓斺斿旍梯度算子评价样品表面图像的绿色分量的自动聚焦算法 之后 提出了 暎 椇 棳 采用以焦点位置为中心的局部图像来进行评价的局部自动聚焦算法 实验结果表明 位置定位的精度为 个像素 自动 棻 暎 棳 聚焦的精度为 棻 旐 同时 以上所述的位置定位与聚焦方法可以有效地提高激光加工系统加工不同参数的样品形貌的 毺 棳 暎 能力 满足了更多不同的加工需求 椇 椈 椈 椈 椈 椈 关 键 词 激光加工 不可见脉冲激光 位置定位 自动聚焦 局部聚焦 计算机视觉 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斘棽棿椆斣斝棾椆棿棶棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椃棽椀棻棾棶棸棸棻棽 斄旛旚旓旀旓斻旛旙旙旙旚斿旐旀旓旘旈旑旜旈旙旈斺旍斿 旛旍旙斿斾旍斸旙斿旘 旟 旔 灣